Методика расчета откачной характеристики кинетического высоковакуумного насоса
9
β arcsin 2ξ 1 ,
где
— случайная величина, равномерно распределенная в интерва-
ле от 0 до 1.
Рис. 3.
Расчетная схема движения отраженнной
молекулы газа от поверхности ОА межлопаточного
канала ТМН
Если вектор скорости молекулы после отражения от поверхности
принадлежит области угла
/2 − β
1
, т.е. β > β
1
, то молекула не перей-
дет через канал, вернется на вход.
1
1
2
2
всегда,
2
sin
arccos
arccos
.
cos
sin
n
B
E
E
E
a
E
a b
x
b
y
Если вектор скорости молекулы после отражения от поверхности
принадлежит области угла
/2 −
2
, т.е.
>
2
или
<
2
, то молекула
перейдет через канал, где
1
1
sin α
sin α
sin α,
,
sin α;
sin α
cos α
n
b
y b
y
E a
AE
a
1
sin α
cos α
sin α
;
tg α
n
b
y
a
B
1
sin α
cos α
sin α
;
tg α
b
y
a
Cn b Bn b
