Методика расчета откачной характеристики кинетического высоковакуумного насоса
5
провода и отражается от нее в соответствии с диффузным законом.
Дальнейшее движение молекулы между очередными отражениями
контролируется только величиной
z
до тех пор, пока не выполнятся
условия:
z
< 0 или
z
>
L
, когда начинается рассмотрение новой части-
цы. Начало координат перемещается в точку столкновения молекулы
с поверхностью цилиндра. Величина приращения
2
2
2
2
Δ
,
1
cos φ tg ξ tg φ
cos tg
r
z
где углы
и
, как и в предыдущем случае, представляют собой слу-
чайные величины, определяемые, соответственно, диффузным зако-
ном отражения и равновероятным значением в пределах от 0 до 2
.
Угол
— угол между траекторией молекулы и нормалью к поверх-
ности цилиндра в точке 0, совпадающей по направлению с осью
OZ
.
Угол
— угол между проекцией траектории частицы на плоскость
XOZ
и осью
OZ
.
Отношение суммы всех молекул
N
12
, прошедших через канал, к
общему числу
N
рассмотренных частиц определяет вероятность про-
хода молекул газа через всасывающий патрубок:
12
.
N
P
N
Соответствующая проводимость всасывающего патрубка, м
3
/с,
в.п
0
36,4
,
T
U
PF
M
где
F
0
— площадь поверхности входа во всасывающий патрубок
насоса, м
2
;
T
— температура газа, K;
M
— молекулярная масса.
Результаты расчета проводимости совпадают с данными других
исследователей [6−9].
Быстрота действия насоса
S
н
с учетом проводимости всасываю-
щего патрубка может быть определена из приближенного равенства
1
1
1
1
н
п.ч
п.ч
0
,
S S U U
(3)
где
S
п.ч
— быстрота действия проточной части насоса, м
3
/с,
п.ч
н пч
36,4
;
T
S
K F
M
F
п.ч
— площадь поверхности входа в проточную часть насоса, м
2
;
K
н
— вероятность того, что молекула газа будет откачана проточной
