К.Е. Демихов, А.М. Макаров, Н.К. Никулин, Е.В. Свичкарь
12
Соответственно вероятность перехода через межлопаточный ка-
нал со стороны нагнетания на сторону всасывания
21
21
,
N
k
N
где
N
21
— число молекул, прошедших со стороны нагнетания на сто-
рону всасывания межлопаточного канала ТМН.
Результирующая вероятность перехода через межлопаточный ка-
нал ТМН
2
12
21
1
,
N
k k
k
N
где
N
1
и
N
2
— соответственно число молекул газа, попадающих на
вход межлопаточного канала со стороны всасывания и со стороны
нагнетания.
Быстрота действия и отношение давлений рабочего колеса ТМН
и всего насоса рассчитываются по известной методике [1].
Молекулярные вакуумные насосы имеют конструктивную схему
Геде [1, 4], каждая из ступеней содержит отсекатель, установленный
с радиальным зазором
к ротору. В расчетной схеме для реальных
конструкций насоса при очень маленькой величине зазора
< 10
−4
м
цилиндрическая поверхность ротора может быть представлена в виде
плоскости, т. е. образующейся щели между коаксиальными цилин-
дрическими поверхностями ротора и отсекателя, причем поверхность
ротора значительно больше поверхности отсекателя. На рис. 6 пред-
ставлена расчетная схема для определения проводимости щели, обра-
зованной отсекателем, ротором и статором проточной части насоса.
Рис. 6.
Расчетная схема плоской щели отсекателя:
a
— ширина отсекателя;
L
— длина отсекателя;
— радиальный зазор
На рис. 7 представлены результаты расчета [13] коэффициента
Клаузинга для плоской щели конечных размеров и щели, образованной
поверхностью конечного размера и бесконечной поверхностью. Как
