Методика расчета откачной характеристики кинетического высоковакуумного насоса - page 16

К.Е. Демихов, А.М. Макаров, Н.К. Никулин, Е.В. Свичкарь
16
2
ς
max τ , Lu
h e 
(12)
2
max ,
2
u
S ah
где L — длина канала МВН, м; u2 — составляющая скорости ротора
вдоль канала, м/с;  — коэффициент внешнего трения газа, с/м (Геде
рекомендует 1,6 · 10−5 с/см); h — высота канала МВН, м.
Аналогичные зависимости описывают максимальное отношение
давлений и для других конструктивных исполнений МВН [1, 2−14].
В молекулярном режиме течения откачная характеристика МВН (за-
висимость быстроты действия S от отношения давлений  представ-
ляет собой линейную зависимость:
max
max
max
τ τ
τ 1 S S 


(13)
или
 
max max
max
τ τ τ 1 . S
S
   (14)
С учетом перетеканий через радиальный зазор между отсекателем и
ротором реальная величина максимального отношения давлений
 
 
max max
max
max
max
max
τ τ 1
τ ,
1 τ 1
a
r
a
U
S
U
S
 

 
(15)
где Ua — проводимость радиального зазора, м3/с.
Максимальная быстрота действия Smax от перетеканий практиче-
ски не зависит.
Для реальных конструкций МВН max 1.   Соответственно урав-
нение (15) можно представить в виде
max
max τ . a
r
a
S U
U

 (16)
Для МВН Хольвека величина проводимости практически не зависит
от скорости движения ротора и вычисляется по уравнениям (8) — (11)
или методом статистического моделирования.