К.Е. Демихов, А.М. Макаров, Н.К. Никулин, Е.В. Свичкарь
6
частью насоса, вычисляется по методикам расчета соответствующих
проточных частей (ТМН или МВН);
U
0
— проводимость входного
отверстия всасывающего патрубка, м
3
/с,
0
0
36,4
.
T
U F
M
Расчет откачных параметров рабочих элементов проточной части
ТМН может быть проведен по известным работам [1, 10−12].
Принимая все допущения математической модели кинетического
вакуумного насоса, в данном случае дополнительно принимается
двухмерное течение газа в канале насоса.
При построении алгоритма расчета здесь также прослеживается
движение
N
молекул с момента входа в канал рабочего колеса ТМН
до момента выхода из него.
Диффузный закон отражения для двухмерного течения газа: ве-
роятность
p
(
) отражения под углом
пропорциональна косинусу
этого угла:
ψ (ψ)
cos ψ,
2
d p
где
— угол отражения (угол между нормалью к поверхности и тра-
екторией отраженной молекулы газа).
Соответствующее случайное число величины угла отражения
ψ arcsin (2ξ 1),
где
— случайная величина, равномерно распределенная в интерва-
ле от 0 до 1.
Если представить диффузный закон для диапазона изменения уг-
ла
от 0 до
/2, то
1
(ψ) cosψ ψ,
p
d
и соответственно, случайное число величины угла отражения
ψ arcsin ξ;
уравнение набегающей стенки 0А (рис. 2):
1 1
tg α;
y x
(4)
уравнение стенки CB:
2
2
tg α;
y x a
(5)
