Методика расчета откачной характеристики кинетического высоковакуумного насоса
15
2 (1).
rnd
Координаты точки старта и заданная траектория движения моле-
кулы позволяют вычислить координаты
x
b
,
y
b
и
z
b
точки столкновения
молекулы с плоскостью:
;
tg φ
a
b
a
b y
x
x
, если φ π,
0, если φ π;
b
b
y
2
2
.
tg ξ
b a
b a
b
x x
y y
z
При
z
>
L
считается, что молекула перешла через щель, при
z
< 0 — молекула вернулась на вход в щель. В обоих случаях рас-
сматривается движение следующей молекулы с поверхности входа.
При 0 <
z
<
L
молекула столкнулась с поверхностью плоскости и от-
ражается от нее в соответствии с диффузным законом. Дальнейшее
движение молекулы между очередными отражениями контролирует-
ся только величиной
z
c
до тех пор, пока не выполнятся условия:
z
c
< 0 или
z
c
>
L
, когда начинается рассмотрение новой частицы.
Начало координат перемещается в точку столкновения молекулы с
поверхностью щели. Величина приращения
cos φ
Δ
,
tgξ
b
c
b
b
b
z z z
где углы
b
и
b
, как и в предыдущем случае, представляют собой слу-
чайные значения, определяемые, соответственно, диффузным законом
отражения и равновероятным значением в пределах от 0 до 2
. Угол
b
— угол между траекторией молекулы и нормалью к плоскости в точ-
ке
B
, совпадающей по направлению с осью
OY
. Угол
b
— угол между
проекцией траектории частицы на плоскость
XOZ
и осью
OZ
.
Отношение суммы всех молекул, прошедших через канал, к об-
щему числу рассмотренных частиц определяет вероятность прохода
молекул газа через плоскую щель.
Максимальное отношение давлений и максимальная быстрота
действия МВН без учета перетеканий могут быть приближенно оце-
нены по уравнениям
