Методика расчета откачной характеристики кинетического высоковакуумного насоса
17
На рис. 9 представлены
результаты расчета
max
и
max
r
МВН Хольвека в зависимости
от линейной скорости движе-
ния ротора при температуре
откачиваемого азота 293 K.
Результаты расчета пока-
зали, что в реальном диапа-
зоне линейных скоростей,
(
u
2
> 100 м/с) при
max
1
ве-
личину
max
r
определяют вели-
чины максимальной быстроты
действия и проводимости ради-
ального зазора (см. (10)).
При расчете МВН кон-
струкции Геде перетекания
через отсекатель зависят от
линейной скорости движения
ротора в результате передачи
дополнительного количества движения в направлении вращения мо-
лекулам газа, попадающим в радиальный зазор отсекателя, т.е. эта
щель работает как молекулярный насос с откачкой из полости нагне-
тания в полость всасывания.
Расчетная схема насоса с модифицированной формой ротора
изображена на рис. 10. На рис. 11 представлены результаты расчета
Рис. 9.
Зависимость максимального
отношения давлений МВН Хольвека
от линейной скорости движения ротора:
1
— результаты расчета по уравнению (12);
2
— результаты расчета по уравнению (15);
3
— результаты расчета по уравнению (16)
Рис. 10.
Расчетная схема МВН Геде с модифицированной
формой ротора:
а
— проточная часть МВН в виде тороидального канала без тела ротора;
б
— располо-
жение ротора в тороидальном канале;
d
— диаметр тороидального канала;
D
— внеш-
ний диаметр тора;
f
— толщина барабана ротора;
h
— толщина диска ротора;
S
— дли-
на барабана ротора;
— угловая скорость вращения ротора
