Методика расчета откачной характеристики кинетического высоковакуумного насоса
19
Рис. 13.
Зависимость вероятности перехода молекул газа через
плоскую щель с
L
/
= 500 в зависимости от скорости движения
одной из поверхностей
При расчете параметров ТМН и МВН быстрота действия вычис-
ляется с учетом проводимости входного патрубка, или проточной ча-
сти, соединяющей рабочие пакеты ТМН и МВН (3). При расчете
комбинированного ТМН характеристики МВН рассматриваются как
характеристики последнего фиктивного рабочего колеса ТМН, име-
ющего откачную характеристику МВН.
ЛИТЕРАТУРА
[1]
Вакуумная техника: Справочник
. Демихов К.Е., Панфилов Ю.В., ред.
Москва, Машиностроение, 2009, 590 с.
[2]
Gaede W. Die Molekularluftpumpe.
Annalen der Physik
, 1913, B. 41,
S. 337−380.
[3]
Mongodin G., Prevot F. Etude experimentale une pompe moleculare rotative.
1956, V. 61, S. 3−13.
[4]
Демихов К.Е., Никулин Н.К.
Оптимизация высоковакумных механиче-
ских насосов
. Москва, Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2010, 255 с.
[5]
Cheng H.P., Jou R.Y., Chen F.Z., Chang Y.W., Iwane M., Hanaoka T., Three-
dimensional flow analysis of spiral-grooved turbo booster pump in slip and
continuum flow.
J. Vac. Sci. Technol
. A, vol. 18, N 2, 2000, pp. 543−551.
