К.Е. Демихов, А.М. Макаров, Н.К. Никулин, Е.В. Свичкарь
20
[6]
Породнов Б.Т., Суетин П.Е., Борисов С.Ф. Течение газов в плоской щели
в широком диапазоне чисел Кнудсена.
Журнал технической физики
,
1970, т. 40, вып. 11, с. 2383−2391.
[7]
Саксаганский Г.Л.
Молекулярные потоки в сложных вакуумных струк-
турах
. Москва, Атомиздат, 1980, 216 с.
[8]
Печатников Ю.М. Анализ проводимости вакуумных систем и их элемен-
тов в молекулярно-вязкостном режиме.
Вакуумная техника и технология
,
2008, № 1, с. 23−26.
[9]
Levenson L.L., Milleron N., Davis D.H. Molecular flow conductance.
Le Vide
,
1963, v. 18, N 103, pp. 42−50.
[10] Kruger C., Shapiro A. Vacuum pumping with a blated axial-flow turbomachine.
Symp. Vac. Techn. Trans
. Pergamon Press, 1960, p. 117−140.
[11]
Sawada T., Suzuki M., Taniguchi O. The axial flow molecular pump. Part I.
Scient. Papers Inst. Phys. and Chem. Res.
, 1968, N 2, p. 49−64.
[12] Фролов Е.С.
Турбомолекулярные вакуум-насосы
. Москва, Машинострое-
ние, 1980, 119 с.
[13] Кошмаров Ю.А., Рыжов Ю.А.
Прикладная динамика разреженного газа
.
Ленинград, Машиностроение, 1977, 184 с.
[14] Holweck M. Conites. Redus.
C.R. Acad. Sci.
, 1923, p. 177−43.
[15]
Siegbahn M. Die molecularpump.
Activ für Matematik astronomy Och. Physik
Band
, 1944, Bd. 30, N 2, S. 1944.
Статья поступила в редакцию 31.05.2013
Ссылку на эту статью просим оформлять следующим образом:
Демихов
К.Е., Макаров
А.М., Никулин
Н.К., Cвичкарь
Е.В.
Методика рас-
чета откачной характеристики кинетического высоковакуумного насоса
.
Инженерный журнал: наука и инновации
, 2013, вып. 5
.
URL
:
/
catalog/machin/vacuum/765.html
Демихов Константин Евгеньевич
— д-р технических наук, профессор, заведую-
щий кафедрой «Вакуумная и компрессорная техника» МГТУ им. Н.Э. Баумана, за-
служенный деятель науки Российской Федерации. Автор более 170 научных работ.
e-mail:
Макаров Анатолий Макарович ―
д-р техн. наук, профессор кафедры «Физика»
МТГУ им. Н.Э. Баумана. Автор более 200 научных работ.
Никулин Николай Константинович
родился в 1946 г., окончил МГТУ
им. Н.Э. Баумана в 1970 г. Канд. техн. наук, доцент кафедры «Вакуумная и ком-
прессорная техника» МГТУ им. Н.Э. Баумана, работает в области вакуумной тех-
ники более 32 лет. Автор более 100 научных трудов.
Свичкарь Елена Владимировна
окончила МГТУ им. Н.Э. Баумана в 2005 г. Ас-
систент кафедры «Вакуумная и компрессорная техника» МГТУ им. Н.Э. Баумана.
работает в области вакуумной техники 8 лет. Автор 15 научных трудов.