Стр. 12 - Лазерный хoлoэллипсoметр рассеяния света оптически одноосным двумерным кристаллом
Упрощенная HTML-версия
12
ISSN 2305-5626. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана: электронное издание. 2013
6. Кирьянов А.П. Голоэллипсометрия in situ: основы и применения. М.:
МГУДТ, 2003. 220 с.
7. Интерференциoнная хoлoэллипсoметрия in situ прoзрачнoгo двумернoгo
oднooснoгo кристалла при нoрмальнoм oтражении лазернoгo излучения /
М. Али, Ю.Ю. Качурин, А.П. Кирьянов и др. // Вестник РУДН. 2012. № 1.
С. 84—91.
8. An thon E.W. Scatterometer using polarized light to distinguish between bulk
and surfact scatter // United States Patent No. 4,668,860; 26.05.1987.
9. Kovalev V.I., Rukovischn ikov A.I ., Rossukanyi N.M., Perov P.I.
New high precion and high speedautomatic ellipsometerwith polarization switch-
ing for in situ control in semiconductor device technologies // Physics of
Sеmiconductor Devices. New Delhi: Tata McGraw-Hill. 1999. P. 244—249.
10. Фабелинский И.Л. Молекулярное рассеяние света. М.: Наука, 1965.
511 с.
11. Elson J .M. Multilayer-coated optics: guided-wave coupling and scattering
by means of interface random roughness // J.O.S.A. 1995. Vol. A12.
P. 729—742.
12. Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Электродинамика сплошных сред. М.:
Наука, 1980. 664 с.
13. Волькенштейн M.C. Молeкулярная оптика. М.: ГИТТЛ, 1951. 744 с.
Статья поступила в редакцию 16.10.2012
