Стр. 2 - Лазерный хoлoэллипсoметр рассеяния света оптически одноосным двумерным кристаллом

2

ISSN 2305-5626. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана: электронное издание. 2013

Оптическая схема лазерного холоэллипсометра практически нормаль-

ного рассеяния света образцом оптически одноосного двумерного кри-

сталла:

Л — источник света (лазер); СД — входной светоделитель; ФП

i

— фотоприемник

отклоняемого СД

i

пучка света; БМП — бинарный модулятор поляризации света

[9]; З

1,2

— зеркала;

S

— образец; К — коллиматор; С — компенсатор; СД

е

— вы-

ходной светоделитель; ПСД

1,2

— поляризационные светоделители на пути пучков

света от светоделителя СД

е

; ФП

11,12

и ФП

21,22

— фотоприемники на пути потоков

света при уходе их от ПСД

1

и ПСД

2

; КП — камера поглощения; БОД — блок обра-

ботки данных; АК — компьютер; Т — табло

Поясним работу устройства (см. рисунок). Лазер Л посылает поток

света через стоящие на входе устройства светоделитель СД

i

, бинарный

модулятор поляризации БМП и зеркало З

1

на образец

S

оптически одно-

осного ДК. Часть падающего потока света образец

S

отражает зеркально

и зеркалом З

2

отсылает в камеру поглощения КП; часть рассеивается,

при этом некую долю рассеянного света улавливает коллиматор К, оп-

КП