ISSN 2305-5626. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана: электронное издание. 2013
3
тическая ось которого нормальна к поверхности образца
S
. Собранный
поток света, рассеянного в малый телесный угол с раствором
Δ
θ
r
≈
2,5
°
к оптической оси коллиматора, формируется им в плоский поток, кото-
рый проходит сквозь компенсатор С на выходной светоделитель СД
е
,
делящий падающий поток света на два пучка света (допустим, первый
пучок отклоняется, а второй — пропускается). На их пути стоят линей-
ные поляризационные светоделители ПСД
1,2
, разделяющие падающие
на них пучки света на подпучки с линейными взаимно поперечными
поляризациями. Эти поляризации на выходе, допустим, светоделителя
ПСД
1
совпадают с собственными линейными
р
- и
s
-поляризациями по-
тока света на выходном светоделителе СД
е
, а поляризации подпучков
света на выходе, соответственно, светоделителя ПСД
2
повернуты по
азимуту на угол
±
45
°
к поляризации подпучков на выходе из ПСД
1
. На
пути отходящих от светоделителей ПСД
1
и ПСД
2
подпучков света
(11, 12) и (21, 22) стоят фотоприемники ФП
(11,12)
и ФП
(21, 22)
, выдающие
одновременно интенсивности (
I
11
,
I
12
) и (
I
21
,
I
22
) соответственно всех
этих подпучков.
Следует отметить, что светоделитель СД
i
делит падающий на него
поток света на два потока: один проходит сквозь него, претерпевая все
описанные выше трансформации, а другой отклоняется на отдельный
фотоприемник ФП
i
и регистрируется им для контроля интенсивности
света
I
i
на входе устройства. Бинарный модулятор поляризации БМП
поочередно пропускает на входное зеркало З
1
и далее на образец
S
по-
ток лазерного света с линейной
р
- или
s
-поляризацией, соотнесенной с
собственной линейной
р
- или
s
-поляризацией потока света на светоде-
лителе СД
е
. Электросигналы от фотоприемников поступают в блок об-
работки данных БОД, который подвергает эти сигналы предваритель-
ному и затем селективному усилению, синхронному детектированию и
цифровой обработке, а потом в цифровом виде направляет в компьютер
АК, который, во-первых, проводит окончательную обработку всего
массива данных измерений и, во-вторых, управляет работой блоков
комплекса в отдельности и комплекса в целом.
Измерения в режиме реального времени (в режиме
in situ
) с об-
разцом
S
оптически одноосного ДК на эллипсометрическом устрой-
стве требуют:
одновременности
регистрации во времени
t
электро-
сигнала
I
i
(
t
) с выхода опорного фотоприемника ФП
i
и других сиг-
налов
I
jk
(
t
) с выходов остальных взятых парами фотоприемников
ФП
jk
в канале
j
измерений с индексом
k
в паре (
j
,
k
= 1, 2); должного
быстродействия
обработки электросигналов на всех стадиях опера-
ций детектирования, усиления (предварительного и селективного),
синхронного детектирования, оцифровки электросигналов, ввода их в
компьютер, осуществления математических алгоритмов обработки
данных на массиве оцифрованных электросигналов, реализации чис-
ленной обработки данных и команд управления процессом измере-
ний;
полноты
массива данных. Слабым звеном в этой иерархии опе-
1,2 4,5,6,7,8,9,10,11,12