Стр. 6 - Лазерный хoлoэллипсoметр рассеяния света оптически одноосным двумерным кристаллом

6 ISSN 2305-5626. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана: электронное издание. 2013
Определение модуля главных компонент тензора нормального
рассеяния света оптически одноосным кристаллом. Рассмотрим ме-
тодику измерений и обработки данных при мониторинге ДК на основе
оптимального проведения измерений массива холоэллипсометрических
параметров образца оптически одноосного двумерного кристалла [7].
Для отражения имеем известные [6, 7] модули r( ξ, η) и разность Δ фаз
δ( ξ, η) комплексных амплитудных коэффициентов отражения r∗
( ξ, η) света,
вызванных, в частности, необыкновенной ξи обыкновенной ηсветовой
волной с линейной ξ- или η-поляризацией в слое среды ДК. А для рас-
сеяния света это будут компоненты uv S ∗ матрицы Ŝ Джонса расcеяния
света (или рассеивателя света) согласно формуле (2).
Функциональные аспекты организации работы неинтерференци-
онного устройства, обеспечивающего реализацию лазерной холоэл-
липсометрии почти (т. е. не строго, но практически) нормального
рассеяния света образцом оптически одноосного ДК как основы мо-
ниторинга ДК, опираются на физико-технические принципы понима-
ния и реализации метода измерений параметров оптически анизо-
тропного образца S как рассеивателя света. Формулировка физико-
технических принципов схемного и оперативного обеспечения реа-
лизации любого варианта лазерной холоэллипсометрии in situ при
мониторинге строится на базе соотношений для интенсивностей Ijk от
пучков света с линейными р- и s-поляризациями на фотоприемниках
ФП jk как функций по каждому параметру на массиве комплексных
величин , , , , , , ( ; ; ; ; ; )
p s p p p s s p p p p s r S S S S A∗ ∗ ∗ ∗ ∗ ∗ в виде соответственных
коэффициентов отражения, компонент матрицы рассеяния и аппа-
ратных поляризационных функций.
Для вывода соотношений рассмотрим общий и практически
значимый случай, в котором ориентированная некоторым образом
оптическая ось ξобразца оптически одноосного ДК лежит в его
плоскости при нормальном падении/отражении и рассеянии света с
некоторой линейной поляризацией. Пусть эта ось ξоптически одно-
осного ДК составляет угол αс линейной р-поляризацией потока све-
та на образце S и на светоделителе СД е на входе холоэллипсометра,
а Е i ( р, s) — проекции амплитуды электрического вектора Еi светового
поля вдоль направлений линейных р- и s-поляризаций потока света
при входе на образец S. Линейно поляризованная световая волна при
нормальном падении, войдя из вакуума в среду оптически одноосно-
го кристалла, разделяется на плоские потоки волн с линейными по-
перечными поляризациями. В необыкновенной световой волне век-
тор электрической индукции D ξ(при нормальном падении и вектор
электрической напряженности Е ξ) колеблется вдоль оптической оси
ξ; в обыкновенной световой волне вектора D η и Е ηэлектрических
индукции и напряженности колеблются вдоль направления η, попе-
речного оптической оси ξкристалла.