4
ISSN 2305-5626. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана: электронное издание. 2013
раций, организующих мониторинг ДК в режиме in situ их получения,
оказываются
стабильность
интенсивности лазерного излучения и
длительность
электросигналов из-за конечности времен отклика фо-
топриемников на действие света вследствие релаксации носителей
электрических зарядов в фотоприемниках и применения модуляции
света. Неболометрические фотоприемники типа ФЭУ, фотодиодов
и т. п., а также пьезоэлектрические и магнитооптические модуляторы
потоков света не имеют ограничений по быстродействию.
Мониторинг интенсивности
I
i
(
t
) лазерного света на входе в холо-
эллипсометр, осуществляемый с помощью оптопары из светоделите-
ля СД
i
и фотоприемника ФП
i
, позволяет обеспечить нормировку
сигналов
I
jk
(
t
) в результате регистрации потоков света с линейными
поляризациями на входе фотоприемников ФП
jk
, причем такая норми-
ровка осуществляется делением каждого
jk
-го из сигналов в получа-
емом наборе
I
jk
(
t
) на сигнал
I
i
(
t
) от входного потока света. При ком-
пьютерной обработке данных оперируют не только с аналоговыми
I
jk
(
t
), но и нормированными сигналами
i
jk
(
t
) вида
i
jk
(
t
) = [
I
jk
(
t
) /
I
i
(
t
)].
(1)
Относительные величины, представленные соотношением (1),
способствуют устойчивости математических алгоритмов, используе-
мых для обработки всего массива данных измерений.
Комплексные поляризационные аппаратные функции устрой-
ства.
Массив данных измерений несет информацию как с образца
S
, так
и с других оптических элементов устройства, с которыми взаимодей-
ствуют поляризованные пучки света на их пути от лазера Л до фотопри-
емников ФП
jk
. Информацию с образца
S
для компонент потока света с
линейными
р
-,
s
-поляризациями содержат комплексные амплитудные
коэффициенты отражения
,
p s
r
∗
в эллипсометрии отражения света [4]:
(
)
,
,
,
exp
,
p s
p s
p s
r
r
i
δ
∗
= ⋅
где
,
p s
r
и
,
p s
δ
— модули и фазы коэффициентов отражения
,
p s
r
∗
[7].
В эллипсометрии рассеяния поляризованного света компоненты
uv
S
∗
матрицы
Ŝ
Джонса расcеивателя света имеют вид [10]:
uv
S
∗
=
exp(
),
uv
uv
S
i S
ϕ
(2)
где
uv
S
и
uv
S
ϕ
— модуль и фаза компонента
uv
S
∗
матрицы
Ŝ
Джонса,
причем каждый индекс из их пары
uv
коррелирует с индексами
р
или
s
главных линейных поляризаций потока света, например, на обыч-
ных светоделителях или c индексами
ξ
или
η
линейных поляризаций
необыкновенной
ξ
и обыкновенной
η
световых волн в среде оптиче-
ски одноосного кристалла.
1,2,3 5,6,7,8,9,10,11,12