Стр. 5 - Лазерный хoлoэллипсoметр рассеяния света оптически одноосным двумерным кристаллом

ISSN 2305-5626. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана: электронное издание. 2013 5
Информацию о вкладе в массив данных со стороны других опти-
ческих элементов несут комплексные поляризационные аппаратные
функции
( )
, , , exp ,
p s p s Ap s A A i δ ∗ = ⋅
где , p s A и , Ap s δ — модуль и фаза комплексной функции , p s A∗ .
В функции , p s A∗ сомножителями входят и амплитуды Еоi (p,s) элек-
трических векторов ( р, s)-компонент потока света на входе устрой-
ства, и вольтваттные чувствительности Djk фотоприемников ФПjk, и
комплексные амплитудные коэффициенты отражения и пропускания
светоделителя СД е. Функции , p s A∗ на массиве данных исключают пу-
тем использования отношения ρ∗ комплексных амплитудных коэф-
фициентов отражения p r ∗ и p r ∗ в качестве основного уравнения нену-
левой эллипсометрии [4]:
( ) ( ) ( ) ( ) ( )
exp tg exp ,
p s p s p s r r r r i i ρ δ δ ψ ∗ ∗ ∗ ⎡ ⎤ = = ⋅ − = ⋅ Δ
⎣ ⎦
где эллипсометрические параметры (или углы) ψи Δ имеют вид [4]:
( ) ( )
arctg arctg ;
p s r r = = ψ ρ
( ).
p s Δ = −δ δ
Параметр ρ∗ связан с отношениями получаемых сигналов Ijk,
причем согласно организации измерений на устройстве (см. рисунок)
индекс j связан с номером 1 или 2 измерительного канала при отра-
жении (1) и пропускании (2) света светоделителем СДе, индекс k свя-
зан с номером (1 или 2) фотоприемников в измерительном канале или
с индексами линейных взаимно поперечных поляризаций подпучков
света в измерительных каналах, например, с индексом р- или s-
поляризации в канале с поляризационным светоделителем ПСД 1 или
с индексом «+»- или «–»-поляризации подпучков света в канале с по-
ляризационным светоделителем ПСД2.
В лазерном холоэллипсометре аппаратные функции , p s A∗ на мас-
сиве сигналов ijk (t ) (1) для компонент потока света с линейными
p - и s-поляризациями от образца S исключают предварительными
дополнительными измерениями, размещая на пути потока света к
образцу S на его месте (перед ним) другой эталонный рассеиватель
S э. Массив данных ijkэ (t) для этих дополнительных измерений на
эталонном рассеивателе Sэ заносят до измерений на образце S в блок
памяти компьютера АК для последующей обработки всего массива
данных ijk(t).