Стр. 8 - Лазерный хoлoэллипсoметр рассеяния света оптически одноосным двумерным кристаллом

8 ISSN 2305-5626. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана: электронное издание. 2013
( ) ( ) 2 2 2 2 ˆ ˆ sin 2 2.
pe se pi pe I E I A S Sξξ ηη α ∗ ∗ = = −
Для оптически анизотропного образца S компоненты S ξξ, S ηη
матрицы Ŝ Джонса для рассеивателя света различны и сигнал Ise в (6)
равен нулю с точностью до шума только при ориентации оптической
оси ξотносительно направления линейной р-поляризации падающего
на образец S потока света, заданной углом α= 0. Это позволяет точно
отследить установку образца с углом α= 0 при измерениях поворо-
том вокруг нормали к его плоскости.
Дополнительные предварительные измерения на эталонном иде-
альном рассеивателе Sэ , помещаемом перед образцом S поперек набе-
гающего на него потока света, характеризуются аналогичным соот-
ношением:
2 2
э э э ˆ ˆ .
pe pe pi pe I E I A S ξξ
∗ ∗ = = ⎡ ⎤
⎣ ⎦
Учтем, что согласно (1) эффективны безразмерные нормирован-
ные сигналы i( p , s)e (t) для образца S и i( p , s)e (t)э для эталона Sэ соответ-
ственно в виде
2 2
( , ) ( , ) ( , ) ( , ) ( ) ˆ
( ) ,
p s e p s e p s i p s e i t I I A S ξξ ηη
∗ ⎡ ⎤
= = ⎡ ⎤
⎣ ⎦ ⎣ ⎦ (7)
2 2
( , ) э ( , ) э ( , ) ( , ) ( ) э ˆ
( ) .
p s e p s e p s i p s e i t I I A S ξξ ηη
∗ ⎡ ⎤
= = ⎡ ⎤
⎣ ⎦ ⎣ ⎦ (8)
Поделив сигнал ( , ) ( )
p s e i t (7) для образца S на сигнал ( , ) э ( )
p s e i t для
эталона Sэ (8), получаем оптимальные соотношения для приведенных
сигналов пp( , ) ( ):
p s e i t
2 2
пp( , ) ( , ) ( , ) э ( ) э ( ) ( ) .
p s e p s e p s e i t i i t S S ⎡ ⎤
= = ⎡ ⎤
⎣ ⎦ ⎣ ⎦ ξξ ηη ξξ (9)
Соотношение (9) позволяет находить модули ( ) S ξξ ηη комплекс-
ных главных компонент ( ) S ξξ ηη
∗ тензора (матрицы) Джонса Ŝ для рас-
сеивателя света в виде оптически одноосного двумерного кристалла.
Разность фаз главных компонент матрицы рассеяния. Суще-
ственным фактором в порождении рассеянного света выступает
спонтанность разрядки возбужденных состояний атомов и молекул
среды рассеивающего свет объекта [10—13]. Эффективное ненулевое
усреднение по движению частиц тела в объеме dV получают, когда
происходит интерференция проекций электрических векторов рассе-
янной волны ξ ′ E и ( )
η ξ η ⊥ ′ ′ ′ E E E на направления, отвечающие направ-
лениям линейных поляризаций потока света, выделяемых с помощью
специально устанавливаемой линейной поляризационной призмы,