Стр. 1 - Лазерный хoлoэллипсoметр рассеяния света оптически одноосным двумерным кристаллом

ISSN 2305-5626. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана: электронное издание. 2013

1

УДК 535.51; 621.382

Лазерный хoлoэллипсoметр рассеяния света

оптически одноосным двумерным кристаллом

М. Али

1

, А.П. Кирьянов

1

МГТУ им. Н.Э. Баумана, Москва, Россия.

Представлен лазерный хoлoэллипсoметр практически нoрмального рас-

сеяния света образцом оптически одноосного двумерного кристалла.

Устройство позволяет получать в реальном времени полный набор тре-

буемых параметров оптически прозрачного образца для реализации мо-

ниторинга создания и обработки двумерных кристаллов, используемых в

качестве элементной базы в высоких технологиях.

E-mail:

mohammedali2206@gmail.com

Ключевые слoва

:

эллипсoметр, рассеяние света, двумерные кристал-

лы, мониторинг, высокие технологии

.

Эффективные средства реализации мониторинга создания и обра-

ботки двумерных кристаллов (ДК) необходимы высоким технологиям

нашего времени [1—3]. Двумерные кристаллы — квантовые образова-

ния тoлщиной 10…100 нм заметно меньшей других размеров [2]. ДК

интересны для нано-технологий, использующих

квантовое копирование

тел из малого числа частиц, которое открывает возможность создания

изделия эффективно и с особо высокой точностью [3]. Необходимые на

практике свойства ДК получают при надлежащем контроле их синтеза.

Особый интерес вызывают методы неразрушающей дистанционной оп-

тической диагностики физико-технических параметров полупроводни-

ков и диэлектриков, различных пленок, покрытий и границ раздела,

формируемых в многостадийных технологических процессах. Оптиче-

ская диагностика включает в себя, разумеется, и методы эллипсометрии

[4], обладающие всеми важными для приложений достоинствами мето-

дов оптики и оптотехники. Важным для нанотехнологий является

монитoринг ДК регистрацией поляризованного рассеянного света [5] от

оптически анизотропных одноосных ДК, причем весьма удачную его

реализацию может предоставить развиваемая авторами данной статьи

холоэллипсометрия со всеми ее аппаратными средствами [6, 7].

Лазерный холоэллипсометр почти нормального рассеяния

света оптически одноосным двумерным кристаллом (оптическая

схема и рабочие связи между элементами устройства).

Вариант

схемотехнической и функциональной организации лазерного устрой-

ства для анализа поляризации рассеянного света, известного в зару-

бежной научной литературе как скаттерометр [8], представлен опти-

ческой схемой на рисунке в аспекте развиваемых нами неинтерфе-

ренционных холоэллипсометров [6].