Стр. 10 - Лазерный хoлoэллипсoметр рассеяния света оптически одноосным двумерным кристаллом

10 ISSN 2305-5626. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана: электронное издание. 2013
Интерференция представлена разностью ΔI инт интерференцион-
ных сигналов I+ е и I– е:
Δ Iинт = |I+е – I–е| = ( ) .
j j E E E E∗ ∗ ′ ′ ′ ′ + Σ ξ η ξ η
Парциальная волна рассеянного света, рожденного некоторой
j -й молекулярной частицей, удаляясь от нее, живет независимо от
других волн рассеянного света. Эта волна рассеянного света, следуя
законам электродинамики Максвелла — Лоренца [12], бежит в слое,
как в низкодобротном резонаторе Фабри — Перо. Парциальные пуч-
ки рассеянного света отличаются от падающего пучка направлением
бега под углом θs и частотой ω′. Пучки волн рассеянного света на
выходе из фактически прозрачного слоя модулируются амплитудным
коэффициентом выхода ( )
, , :
s t d ω θ′
( ) ( )
( , ) ( , )
( , ) , , , , ;
es s s i E d t d E
ξ η ξ η
ξ η ω θ ω θ ′ ′ ′ ′ =
[ ] { }
( , ) ( , ) 10 1 10 12 1 . exp( ) 1 exp(2 ) i t E i i
ξ η ξ η τ ϕ ρ ρ ϕ = − ′
Если пренебречь мнимой частью комплексного показателя прелом-
ления в силу прозрачности слоя, здесь ( )( , ) , ,
es s E d ξ η ω θ ′ ′ и ( , ) i E ξ η ′ —
комплексные амплитуды пар-циальных волн рассеяния света с ли-
нейными ξ- и η-поляризациями на выходе из слоя и при рождении
волн в j -й точке среды 1-го слоя; ταβ( ξ, η), ραβ( ξ, η) — комплексные ам-
плитудные коэффициенты Френеля для пропускания, отражения
пучков света с линейными ξ- и η-поляризациями на межграничной
поверхности ( αβ) для α-й и β-й среды; ϕ1( ξ, η) — набег фазы при беге
в среде 1-го слоя для парциальной световой волны рассеяния с ли-
нейной ξ- ( η-) поляризацией на выходе из слоя:
( )
1( , ) ( , ) / /cos ,
s n c d
ξ η ξ η ϕ ω θ = ′ ′ ⎡ ⎤
⎣ ⎦ (10)
где ( , ) s ξ η θ —угол рассеяния световой волны в среде 1-го слоя относи-
тельно нормали n поверхности (01) для вакуума 0 и среды 1-го слоя.
Разделение вкладов в рассеяние света нанослоем. Источники
рассеяния света нанослоем — поверхности S вследствие неизбежного
наличия шероховатостей для их межфазных ( αβ)-границ нанослоя и
объемы V из-за различных неоднородностей параметров в пределах
подповерхностных областей слоя, в частности, показателей прелом-
ления, плотности вещества среды, наличия примесей и т. п. Важно,
что поверхностные механизмы рассеяния света не зависят, а объем-