ISSN 2305-5626. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана: электронное издание. 2013
11
ные механизмы зависят от толщины
d
нанослоя [11]. Зависимость эта
дана разностью
Δ
ϕ
1
ξη
фаз
ϕ
1
ξ
и
ϕ
1
η
(10) в случае необыкновенной и
обыкновенной волн рассеянного света в среде 1-го нанослоя:
(
)
1 ,
1
1
/
,
n
n c d
ξ η
ξ
ϕ
ϕ
ϕ
ω
Δ = − = Δ′
где
Δ
n
— двулучепреломление среды 1-го нанослоя;
с
— скорость
света.
В силу независимости поверхностного и объемного вкладов в ме-
ханизмы генерации тензора
Ŝ
рассеяния света главные компоненты
такого тензора
S
ξξ
,
S
ηη
представляются суммой вида
S
ξξ
(
ηη
)
=
S
ξξ
(
ηη
)
s
+
S
ξξ
(
ηη
)
v
,
(11)
где
S
ξξ
(
ηη
)
s
— главная поверхностная компонента матриы
Ŝ
рассея-
ния света;
S
ξξ
(
ηη
)
v
— главная объемная компонента матрицы
Ŝ
рассе-
яния света, причем первое слагаемое
S
ξξ
(
ηη
)
s
в формуле (11) пред-
ставляется как предел полного компонента
S
ξξ
(
ηη
)
тензора
Ŝ
рассея-
ния света на нулевую толщину
d
= 0 нанослоя двумерного кристалла.
Таким образом, представлены как физические и технические
принципы схемотехнической и функциональной организации лазер-
ного неинтерференционного холоэллипсометра с почти нормальным
рассеянием лазерного излучения нанослоем оптически одноосного
двумерного кристалла, так и основные уравнения холоэллипсомет-
рии, реализация которой обеспечивается лазерным устройством
посредством измерений в реальном времени адекватных холоэллип-
сометрических параметров оптически прозрачного нанослоя двумер-
ного одноосного кристалла как рассеивателя лазерного излучения.
Показана возможность разделять и поверхностные и объемные (под-
поверхностные) механизмы рассеяния света.
Работа выполнена в рамках ФЦП «Научные и научно-педагоги-
ческие кадры инновационной России» за 2009–2013 гг.
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
1. Алферов Ж.И. Нанотехнологии: перспективы развития в России // Наука
Москвы и регионов. 2005. № 2. С. 41—47.
2. In situ spectroscopic ellipsometry as a versatile tool for studying atomic layer
deposition / E. Langereis, S.B.S. Heil, H.C.M. Knoops at el. // J. Phys. D: Appl.
Phys. 2009. Vol. 42. No. 07. P. 3001.
3. Конотопов М.В., Тебекин А.В. Концепция стратегии развития произ-
водственных технологий // Инновации и инвестиции. 2007. № 1 (9). C. 2—15.
4. Аззам Р ., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. М.: Мир,
1981. 583 с.
5. Pemb le M. P. NESSPIOM — Network for enhanced semiconductor surface
processing through in situ optical moniring // Surf. Interface Anal. 2001. Vol. 31.
P. 1012—1016.
1...,2,3,4,5,6,7,8,9,10 12