Стр. 9 - Н.В. Барышников, Я.В. Гладышева, Д.Г. Денисов, И.В. Животовский, В.Е. Патрикеев, И.Н. Судариков - Исследование интерференционных методов контроля формы и качества высокоточных поверхностей крупногабаритных оптических деталей

12 ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. «Приборостроение». 2012
где x — линейное поле зрения прибора. Максимальная простран-
ственная частота ограничивается частотой Найквиста, равной поло-
вине частоты дискретизации:
max
1 ,
2 x a
ν = (13)
где 2
1 200
x
x a ω
= — размер одного пиксела, если размер матрицы
1200×1200 пикселов. По формулам (12) и (13) были рассчитаны диа-
пазоны профилометра NanoCam Dynamic Profiler и его же с примене-
нием интерференционных объективов с увеличением 2 х, 5х, 10х и 20х,
а также профилометра FizCam Dynamic Profiler (см. рис. 3).
Рис. 3. Частотные диапазоны интерферометров NanoCam Dynamic
Profiler и FizCam Dynamic Profiler
Таким образом, как видно на рис. 3, профилометр NanoCam Dy-
namic Profiler с насадками с увеличением 2 х и 5х позволяет проводить
измерения в III, IV диапазонах, соответствующих требованиям к
производству крупногабаритных оптических деталей и перспектив-
ных лазерных сред.
Функционально-оптическая схема интерферометра Intellium
H2000 представлена на рис. 4. Интерферометр основан на схеме ин-
терферометра Физо, позволяющей проводить измерения в вибраци-
онных условиях оптического производства и при других внешних
помехах [14]. Интерферометр Intellium H2000 одновременно реги-
стрирует три интерференционные картины, сдвинутые по фазе отно-
сительно друг друга. Интерферограммы записываются тремя незави-
симыми камерами (CCD-камеры). Для регистрации интерферограмм
необходимо, чтобы опорный и объектные лучи были ортогонально
поляризованы. Для этого в схему интерферометра Физо введены два
источника излучения с перпендикулярными состояниями поляриза-
ции. На рис. 4 показаны лучи от двух источников, попадающие в
коллиматор под небольшим углом.