Стр. 5 - Н.В. Барышников, Я.В. Гладышева, Д.Г. Денисов, И.В. Животовский, В.Е. Патрикеев, И.Н. Судариков - Исследование интерференционных методов контроля формы и качества высокоточных поверхностей крупногабаритных оптических деталей

8

ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. «Приборостроение». 2012

показаны три графика функции

PSD

(

v

x

,

v

y

) и критическая линия, рас-

считанная в соответствии с предъявляемыми требованиями к каче-

ству поверхностей (см. табл. 1).

Качество волнового фронта в диапазоне I характеризуется мак-

симальными значениями наибольшей высоты неровностей профиля

R

max

и СКО профиля

R

q

[9] (или PV и RMS [10] соответственно). Эти

параметры определяют форму волнового фронта, отраженного от ис-

следуемой поверхности, и угловую расходимость отраженного излу-

чения.

Диапазоны II…IV обусловливают шероховатость оптической по-

верхности. Неоднородности поверхности в диапазонах II и III могут

привести к дополнительной модуляции лазерного излучения и по-

вреждению ответственных оптических элементов. Размер неодно-

родностей в пределах IV диапазона определяет светорассеивающие

характеристики крупногабаритной оптики.

Как следует из табл. 1, к погрешностям измерений предъявляют-

ся очень высокие требования. Поэтому выбор аппаратуры для опти-

ческих измерений должен быть тщательно обоснован. Интерферо-

метрическое оборудование производства США, технические харак-

теристики которого позволяют проводить измерения с необходимой

погрешностью в выделенных четырех диапазонах пространственных

частот: I — классический интерферометр Физо с автоколлимацион-

ным расширением пучка, Zygo Veryfire (Zygo); I…III — Intellium

H2000 (ESDI); I, II — FizCam Dynamic Profiler (4D Technology); III,

IV — NanoCam Dynamic Profiler (4D Technology).

При анализе технических характеристик оборудования прежде

всего следует отметить, что классический интерферометр Физо и ин-

Рис. 1. Функция

PSD

для четырех пространственных диапазонов из-

мерения