ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. «Приборостроение». 2012
7
ственно-частотных диапазона в зависимости от шага и базовой дли-
ны поверхности: отклонение формы поверхности определяется в
пределах апертуры; волнистость — совокупность периодически по-
вторяющихся неровностей, у которых расстояние между соседними
вершинами или впадинами превышает базовую длину для имеющей-
ся шероховатости поверхности; шероховатость высокого порядка —
совокупность неровностей поверхности с малыми шагами, выделен-
ными в пределах базовой длины; шероховатость нанометрового
уровня — высокочастотный параметр, лежит в пределах от долей
нанометра до нескольких нанометров.
В табл. 1 приведены требования, введенные при разработке ак-
тивных сред лазеров для NIF. Параметры, характеризующие качество
оптической поверхности, разделены на диапазоны I…IV по про-
странственным частотам (от 1·10
2
до 2,5·10
–3
мм
–1
) в соответствии с
пространственными масштабами [7, 8].
Таблица 1
Параметры, характеризующие качество оптической поверхности
в диапазонах I…IV пространственных частот
Диапазон
I
II
III
IV
Пространственный
период гармоник в
разложении ряда
Фурье профиля по-
верхности, мм
450…33
33…2,5
2,5…0,12 0,12…0,01
Пространственная
частота неоднород-
ностей, мм
–1
2,5·10
–3
…
3,0·10
–2
3,0·10
–2
…
0,4
0,4…8,3
8,3…100
Контролируемый
параметр неодно-
родности
PV
λ
RMS ,
d
нм/см
RMS,
нм
RMS,
нм
RMS,
нм
Допустимое значе-
ние контролируемо-
го параметра
0,33
7,00
1,80
1,10
0,40
О б о з н а ч е н и я:
d
— диаметр апертуры,
λ
— длина волны излучения.
На рис. 1 представлено распределение функции
PSD
(
v
x
,
v
y
) для
выделенных четырех пространственных частотных диапазонов. По-
скольку один прибор не может проводить измерения сразу во всех
диапазонах, то данные были получены с помощью нескольких ин-
терферометров при использовании различных насадок [8]. На рис. 1
1,2,3 5,6,7,8,9,10,11,12,13