ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. «Приборостроение». 2012
13
Рис. 4. Функционально-оптическая схема интерферометра Intellium
H2000
Пучки излучения отражаются от эталонной и от исследуемой по-
верхностей, которые наклонены таким образом, чтобы отраженные
лучи шли параллельно оптической оси интерферометра. Угол накло-
на поверхностей должен быть небольшим, это необходимо для
уменьшения ошибок при проходе излучения через оптическую си-
стему. Оставшиеся два пучка отражаются от поверхностей и блоки-
руются пространственным фильтром в фокальной плоскости интер-
ферометра.
Для получения трех интерферограмм одновременно опорный и
объектный лучи разделяются на три одинаковых канала в специаль-
ном модуле, который заменяет стандартную камеру в интерферомет-
ре. В каждом канале фазовая задержка вводится независимо, чтобы
фазовый сдвиг между соответствующими интерферограммами был
равен 120°. Три интерферограммы регистрируются одновременно и
передаются на компьютер. Время снятия данных составляет обычно
около 0,25 мс, но может быть уменьшено до 10 мкс, оно ограничива-
ется интенсивностью излучения и характеристиками камеры. Заме-
тим, что разделение пучка на три канала не нарушает принцип
наименьшей оптической длины, так как два интерферирующих пучка
разделяются одинаково и проходят один и тот же путь до детектора.
Интерферометр Intellium H2000 в отличие от рассмотренных вы-
ше интерферометров позволяет проводить измерения в диапазонах I
и II для оптических поверхностей с большими апертурами при усло-
вии наличия увеличивающей насадки. На рис. 5 представлена воз-
можная схема контроля крупногабаритной оптической плоской по-
верхности с использованием дополнительного сферического зеркала.
Для такой схемы интерференционная картина определяется разно-
стью двух волновых фронтов: фронта, отразившегося от эталонной
поверхности клина, и фронта, отразившегося от контролируемой
плоской поверхности.
1,2,3,4,5,6,7,8,9 11,12,13