Стр. 7 - Н.В. Барышников, Я.В. Гладышева, Д.Г. Денисов, И.В. Животовский, В.Е. Патрикеев, И.Н. Судариков - Исследование интерференционных методов контроля формы и качества высокоточных поверхностей крупногабаритных оптических деталей

10 ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. «Приборостроение». 2012
ячейка маски состоит из четырех подъячеек с фазовыми сдвигами от-
носительно друг друга на 90°. Для наилучшего разрешения каждой
подъячейке соответствует один пиксел ПЗС-матрицы [16, 17].
Принцип регистрации фаз заключается в том, что поляризацион-
ный интерферометр генерирует опорный и объектный волновые
фронты с ортогональным типом поляризации по отношению друг к
другу. Пикселизированная поляризационная маска производит сдвиг
обоих волновых фронтов в каждом пикселе, получая таким образом
четыре различных интерференционные картины за одно измерение.
Интенсивность каждой сдвинутой по фазе интерферограммы на ак-
тивной части детектора [13]:
( )
0
1
( , ) 2 cos Δ ( , ) ;
2 r s r s I x y I I I I x y ϕ ⎡ ⎤ = + +⎣ ⎦ (6)
1
1
( , ) 2 cos Δ ( , ) ;
2 2 r s r s I x y I I I I x y π
ϕ ⎡ ⎤ ⎛ ⎞
= + + +
⎜ ⎟ ⎢ ⎥
⎝ ⎠ ⎣ ⎦
(7)
( )
2
1
( , ) 2 cos Δ ( , ) ;
2 r s r s I x y I I I I x y ϕ π ⎡ ⎤ = + + +
⎣ ⎦ (8)
Рис. 2. Функциональная схема динамической системы измерения ше-
роховатостей