Стр. 6 - Н.В. Барышников, Я.В. Гладышева, Д.Г. Денисов, И.В. Животовский, В.Е. Патрикеев, И.Н. Судариков - Исследование интерференционных методов контроля формы и качества высокоточных поверхностей крупногабаритных оптических деталей

ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. «Приборостроение». 2012 9
терферометр Zygo Veryfire не позволяют проводить измерения в виб-
ронестабильных условиях оптического производства [11].
Интерферометры Intellium H2000 (ESDI), FizCam Dynamic Profiler
и NanoCam Dynamic Profiler (4D Technology) обеспечивают возмож-
ность проведения измерений на производстве за счет построения оп-
тической схемы с дополнительными поляризационными компонен-
тами. При использовании интерферометров FizCam Dynamic Profiler
[12] и NanoCam Dynamic Profiler (4D Technology) [13] вибронеза-
висимость достигается с помощью микрополяризационной маски,
нанесенной «попиксельно» на регистрирующую ПЗС-матрицу, что
позволяет получить четыре интерференционные картины за одно
измерение.
В интерферометре Intellium H2000 (ESDI) конечный результат
регистрируется одновременно тремя ПЗС-матрицами, что также дает
возможность получить несколько интерференционных картин за од-
но измерение. Контролируемое прибором качество поверхности
определяется диапазонами I…III и подходит для измерения крупно-
габаритной оптики [14].
Детальный анализ особенностей построения интерферометра
FizCam Dynamic Profiler показывает, что вследствие необходимости
высокоточной синхронизации смещения крупногабаритного эта-
лонного зеркала с зеркалом, вносящим сдвиг фазы, его невозможно
использовать для контроля крупногабаритных оптических деталей.
Рассмотрим возможность применения интерферометров NanoCam
Dynamic Profiler (4D Technology) и Intellium H2000 (ESDI) в соответ-
ствии с требованиями по качеству измерений. Функциональная схема
динамической системы измерения шероховатостей интерферометром
NanoCam Dynamic Profiler представлена на рис. 2. Система основана
на схеме микроинтерферометра Линника и фазового датчика с пиксе-
лизированной поляризационной маской [15]. Источник излучения с
перестраиваемой поляризацией сигнала на выходе направляет излу-
чение в микроинтерферометр. Поляризационный светоделитель
направляет в ветвь с исследуемым объектом s-поляризованное излу-
чение, а в ветвь с опорной поверхностью — p-поляризованное излу-
чение.
Излучение, отразившись от опорного и объектного зеркал, воз-
вращается и, пройдя поляризационный светоделитель, попадает в про-
екционный объектив регистрирующей ветви. Перед приемником излу-
чения располагается четвертьволновая пластинка, меняющая p-поля-
ризованное излучение на излучение с правой круговой поляризацией,
а s-поляризованное изучение — на излучение с левой круговой поля-
ризацией. Затем оба пучка проходят через поляризационную маску,
формирующую интерференционную картину на детекторе. Каждая