Технология изготовления дифракционных оптических элементов методом ПХТ…
9
евых пластин диаметром 200 мм, был разработан специальный
экранирующий носитель.
При разработке технологии изготовления ДОЭ исследовали
влияние времени травления
t
на достигаемую глубину канавок ди-
фракционных решеток при ПХТ заготовок фазовых ДОЭ с хромо-
вой маской.
На установке ПХТ Caroline 15 PE использовали следующий ре-
жим травления: расход травящего газа (фреон CF
4
)
C
CF
4
= 2,4 л/ч,
плазмообразующего газа (аргон)
C
Ar
= 0,8 л/ч, газа, охлаждающего
столик (гелий),
C
He
= 1,2 л/ч; ток подмагничивания в катушках, охва-
тывающих камеру с плазмой,
I
= 2,0 А; мощность, подаваемая на ан-
тенну,
P
а
= 250 Вт и подаваемая на столик,
P
ст
= 250 Вт; частота вра-
щения
n
ротора турбомолекулярного насоса — 100 % номинальной.
При работе установки Caroline 15 PE условия процесса ПХТ, связан-
ные с функционированием двух высокочастотных генераторов с со-
гласующими устройствами, нагружаемыми соответственно на антен-
ну и столик, формируются непосредственно в ходе процесса. К этим
условиям относятся: фактические мощности на антенне и столике
(причем в обоих случаях фиксируются мощности падающей и отра-
женной волн); напряжение
U
автосмещения на столике; давление
p
в рабочей камере.
Полученные на основе профилографических исследований, про-
веденных на профилографе-профилометре 1500-
α
Kasaka laboratory
(Япония), результирующие зависимости влияния продолжительности
процесса ПХТ на глубину канавок дифракционных решеток пред-
ставлены на рис. 7. Глубину профиля определяли на двух этапах из-
готовления ДОЭ: после ПХТ (кривая
1
) и после кислотного травле-
ния для удаления остатков хромовой маски (кривая
2
).
Обе кривые
1
и
2
имеют максимум при продолжительности ПХТ
t
опт
= 30 мин, т. е. при продолжительности ПХТ
t
<
t
опт
глубина кана-
вок дифракционной решетки с увеличением продолжительности ПХТ
возрастает, а при
t
>
t
опт
— уменьшается.
При
t
<
t
кр
глубина канавок дифракционной решетки после ПХТ
превышает глубину канавок после кислотного травления, а при
t
>
t
кр
оказывается меньше, т. е. в последнем случае кислотное травление
приводит к увеличению глубин канавок дифракционной решетки.
В момент
t
=
t
кр
глубина канавок дифракционной решетки после кис-
лотного травления не изменяется.
При
t
>
t
кр
с увеличением продолжительности ПХТ разность
между глубиной канавок после ПХТ и после кислотного травления
увеличивается.
Анализ представленных на рис. 7 результатов исследования вли-
яния продолжительности ПХТ на глубину рельефа фазовой дифрак-
