Технология изготовления дифракционных оптических элементов методом ПХТ…
11
уровнях, что и в предыдущих экспериментальных исследованиях (см.
рис. 7). На рис. 8 видно, что зависимости селективности
r
травления
от расходов как аргона, так и фреона носят ярко выраженный экстре-
мальный характер, т. е. имеют максимумы. Оптимальный режим
ПХТ стекла на установке Caroline 15 PE соответствует расходу арго-
на
C
Ar
= 0,8 л/ч при одновременном расходе фреона
C
CF
4
= 2,4 л/ч.
Практическое применение ПХТ обусловлено необходимостью из-
готавливать именно фазовые дифракционные решетки, которые в от-
личие от обычных (амплитудных) дифракционных решеток обеспечи-
вают повышенную дифракционную эффективность. Эксперименталь-
ные исследования дифракционной эффективности дифракционных
решеток ДОЭ с различной глубиной канавок, изготовленных с приме-
нением ПХТ, проводили на специально разработанном оптическом
стенде. С помощью специального измерительного прибора измеряли
интенсивности пучков нулевого, первого, второго, третьего и минус
первого порядков дифракции при наклонном падении света.
Для амплитудных дифракционных решеток дифракционная эф-
фективность уменьшается в наибольшей степени при переходе ко вто-
рому и более высоким порядкам дифракции. Следовательно, наиболее
актуальным является вопрос определения оптимальной глубины кана-
вок дифракционных решеток, обеспечивающей максимальность энер-
гии во втором порядке дифракции.
Рис. 8.
Зависимости производительности
q
, селективности
r
травления,
напряжения смещения
U
см
, анодного тока
J
и давления вакуума
p
в камере
от расходов аргона
С
Ar
и фреона
С
CF
4
