С.Б. Одиноков, Г.Р. Сагателян, А.Б. Соломашенко, Е.А. Дроздова
8
Рис. 6.
Установка плазмохимического травления Caroline 15 PE:
1
— шлюз;
2
— манипулятор;
3
— затвор;
4
— согласующее устройство;
5
— ла-
зерный измеритель глубины травления;
6
— антенна;
7
— катушки индуктивности;
8
— носитель заготовки;
9
— корпус камеры
При выборе этой установки в качестве оборудования для разра-
ботки технологии изготовления ДОЭ-ГОЭ из щелочного стекла (ос-
новной компонент состава шихты при варке такого стекла — диоксид
кремния) были учтены сообщения о положительных результатах ее
применения при изготовлении деталей из монокристаллического
кварца. Некоторые результаты экспериментальных исследований по
применению установки Caroline 15 PE для протравливания монокри-
сталлического кварца на большие глубины — свыше 200 мкм —
представлены в работе [11] без подробного описания условий и ре-
жимов операции ПХТ. В частности, не раскрыт материал маски, спо-
соб ее получения и толщина, необходимая для травления на глубину
порядка десятков микрометров.
Экспериментальные исследования по изготовлению фазо-
вых ДОЭ.
Заготовки ДОЭ получали высверливанием из заготовок
ФШ из щелочного стекла, применяемых для изготовления ИМС
(ФШ ИМС). Таким образом, материалом фазовых ДОЭ являлось
щелочное стекло. Для размещения заготовок ДОЭ диаметром 35 мм
на столике установки Caroline 15 PE, предназначенном для кремни-
