С.Б. Одиноков, Г.Р. Сагателян, А.Б. Соломашенко, Е.А. Дроздова
12
Полученные зависимости дифракционной эффективности как до-
ли интенсивности пучка света второго порядка
I
2
дифракции в общей
интенсивности света
I
Σ
, прошедшего через ДОЭ, от глубины
H
кана-
вок дифракционной решетки с различными периодами
d
представле-
ны на рис. 9. Видно, что парциальная доля второго порядка дифрак-
ции может достигать и даже превышать 30 %. Установленные эмпи-
рически зависимости (см. рис. 9) указывают также на то, что для
повышения дифракционной эффективности фазовых дифракционных
решеток глубину канавок следует по возможности увеличивать.
Рис. 9.
Зависимости отношения интенсивности света пучка второго порядка
дифракции
I
2
и суммы интенсивностей
I
Σ
пучков нулевого, первого, второ-
го, третьего и минус первого порядков дифракции от глубины
H
канавок
дифракционных решеток:
а
—
d
= 2 мкм;
б
—
d
= 2,5 мкм;
в
—
d
= 3 мкм
Обсуждение результатов экспериментальных исследований.
Повышение дифракционной эффективности фазовых дифракционных
решеток во втором порядке дифракции с увеличением глубины кана-
вок дифракционной решетки (см. рис. 9) можно объяснить уменьше-
нием относительной интенсивности излучения для нулевого порядка
дифракции [8]. В общем случае в соответствии с теорией дифракции
света на фазовых дифракционных решетках с идеально прямоуголь-
ным профилем микрорельефа относительная интенсивность нулевого
порядка дифракции должна изменяться волнообразно, достигая мини-
мума (для рассмотренных условий) при глубине канавок 700, 1400 нм
и т. д. Однако на практике полученная форма микрорельефа дифрак-
ционной решетки отличается от идеально прямоугольной, поскольку
на краях выступов формируются радиусы скруглений, а стенки микро-
рельефа не вертикальны, а наклонены под углом до 30° к вертикали.
Таким образом, номинально прямоугольная форма микрорельефа
фазовых дифракционных решеток на практике приближается к тре-
угольной, а для такой формы микрорельефа в соответствии с теорией
