Технология изготовления дифракционных оптических элементов методом ПХТ…
17
[6] Ландсберг Г.С.
Элементарный учебник физики. Т. 3: Колебания и волны.
Оптика. Атомная и ядерная физика
. Москва, Наука, 1985, 656 c.
[7] Балясников Н.М., Лукашевич Я.К., Варфоломеев А.А., Стрельников Ю.П.
Способ изготовления вогнутых дифракционных решеток со ступенчатым
профилем штрихов
. Пат. 1799161 Российская Федерация, 10.05.1995.
[8] Рожков О.В., Тимашова Л.Н. Воспроизведение цветокодированной фазо-
оптической записи в системах отображения информации.
Труды МВТУ
им. Н.Э. Баумана
, 1979, № 309, с. 21–36.
[9] Дудин С.В. Исследования и разработка технологических систем на базе
ВЧ индукционного разряда для реактивного ионно-плазменного травления
микро- и наноструктур.
Физическая инженерия поверхности
, 2009, т. 7,
№ 3, с. 171–194.
[10] Берлин Е.В., Двинин С.А., Морозовский Н.И., Сейдман Л.А. Реактивное
ионно-плазменное травление и осаждение: установка Каролина 15.
Элек-
троника: Наука, Технология, Бизнес
, 2005, № 8, с. 78–80.
[11] Берлин Е.В., Сейдман Л.А.
Ионно-плазменные процессы в тонкопленоч-
ной технологии
. Москва, Техносфера, 2010, 544 с.
Статья поступила в редакцию 03.07.2013
Ссылку на эту статью просим оформлять следующим образом:
Одиноков С.Б., Сагателян Г.Р., Соломашенко А.Б., Дроздова Е.А. Технология
изготовления дифракционных оптических элементов методом плазмохимического
травления для формирования точечных эталонных изображений.
Инженерный
журнал: наука и инновации
, 2013, вып. 9.
URL:
Одиноков Сергей Борисович
родился в 1950 г., окончил МВТУ им. Н.Э. Баумана в
1973 г. по специальности «Оптико-электронные приборы». Д-р техн. наук, профессор
кафедры «Лазерные и оптико-электронные системы» МГТУ им. Н.Э. Баумана. Спе-
циалист в области оптико-голографических систем. е-mail:
Сагателян Гайк Рафаэлович
родился в 1953 г., окончил Ереванский политехни-
ческий институт (Государственный инженерный университет Армении — ГИУА) в
1975 г. по специальности «Технология машиностроения, металлорежущие станки и
инструменты». Д-р техн. наук, профессор кафедры «Технологии приборостроения»
МГТУ им. Н.Э. Баумана. Специалист в области технологий изготовления прецизи-
онных изделий приборостроения. е-mail:
Соломашенко Артем Борисович
родился в 1987 г., окончил МГТУ им. Н.Э. Бау-
мана в 2010 г. Аспирант кафедры «Лазерные и оптико-электронные системы»
НИИ РЛ МГТУ им. Н.Э. Баумана. Автор 15 статей и одного патента в области оп-
тико-электронных приборов и голографии.
Дроздова Екатерина Андреевна
родилась в 1987 г., окончила Санкт-Петербург-
ский государственный университет кино и телевидения в 2010 г. Инженер НИИ РЛ
МГТУ им. Н.Э. Баумана.
