Технология изготовления дифракционных оптических элементов методом ПХТ…
15
уменьшается. Если же
t
>
t
кр
, то толщина пленки полимера, выросшей
на стекле, превышает суммарную толщину остаточного слоя хрома и
пленки, выросшей на хроме. Это приводит к увеличению глубины
канавок дифракционной решетки после выполнения операции кис-
лотного травления.
3. С увеличением продолжительности ПХТ толщина пленки, вы-
саженной на обрабатываемой поверхности стекла в результате проте-
кания паразитной реакции полимеризации фреона, монотонно увели-
чивается, асимптотически приближаясь к некоторой предельной ве-
личине, соответствующей равенству скоростей роста и стравливания
этой пленки. Если процесс ПХТ является избыточно продолжитель-
ным, т. е. таким, при котором защитная маска хрома уже полностью
удалена, то при кислотном травлении, следующем после ПХТ, про-
исходит удаление лишь этой пленки. Поэтому разница между глуби-
нами канавок дифракционной решетки до и после кислотного трав-
ления с увеличением излишней продолжительности ПХТ монотонно
возрастает.
На основании анализа и объяснения физической сущности об-
наруженных экспериментальными методами закономерностей и
особенностей процесса ПХТ, можно сформулировать выводы и ре-
комендации по построению технологии ПХТ при изготовлении
ДОЭ.
Заключение.
Теоретически обоснована и экспериментально под-
тверждена возможность создания фазовых ДОЭ, работающих на про-
пускание света и обеспечивающих максимизацию интенсивности в
заданном ненулевом порядке дифракции. В частности, для щелочно-
го стекла, аналогичного по оптическим характеристикам стеклу К8,
максимум интенсивности света с длиной волны
λ
= 0,65 мкм во вто-
ром порядке дифракции, имеющем направление 30°, обеспечивается
при глубине
H
= 1,3 мкм канавок дифракционных решеток прямо-
угольной формы. Такие канавки могут быть получены методом ПХТ
на установке Caroline 15 PE.
Установлено, что с увеличением глубины канавок до 1,5 мкм ди-
фракционная эффективность фазовой дифракционной решетки, изго-
товленной методом ПХТ, возрастает монотонно; для повышения ди-
фракционной эффективности следует стремиться к максимально воз-
можной глубине канавок дифракционной решетки в указанном
диапазоне.
Для достижения расчетной глубины канавок фазовых дифракци-
онных решеток как методом автоматического получения размера, так
и методом пробных процессов и замеров необходимо учитывать со-
отнесение продолжительности
t
ПХТ с критической продолжитель-
ностью
t
кр
. Если
t
<
t
кр
, то в результате следующего за ПХТ кислотно-
