Технология изготовления дифракционных оптических элементов методом плазмохимического травления для формирования точечных эталонных изображений - page 2

С.Б. Одиноков, Г.Р. Сагателян, А.Б. Соломашенко, Е.А. Дроздова
2
Рис. 1. Схема оптической подсистемы для формирования эталонного рас-
положения точек [1]
Рис. 2. Конструкция ДОЭ