Моделирование и оптимизация технологического процесса ионно-лучевого травления - page 4

А.А. Гурченков, Л.А. Муравей, А.М. Романенков
4
0
2
0
sin
;
1
x
v
x



 
 
   
2
0
0
0
1
.
x
x v
t
x


 
   

Устремляя
t
к нулю, получаем
2
0
0
0
0
1
.
x
dx v
dt
x
x



 
   

 


Введем еще одну функцию
 
,
y t
такую что
 
1
,
dy v t
dt
  
 
0 0.
y
Очевидно, что
 
y t
описывает эволюцию плоской поверхности
рабочего слоя. Процесс заканчивается, когда
 
,
y T h
 
где
T
конечный момент времени процесса ИЛТ. Следовательно, эта задача
описывается уравнениями
 
 
2
,
1
0;
t x
v t
t
x

 
 
  
 
(4)
 
 
2
0
0
0
1
;
x
dx t
v t
dt
x


 
   
 

(5)
 
1
dy v t
dt
  
(6)
с условиями
 
 
 
0
0,
,
1,
0 0,
x g x x
y
 
(7)
где
 
t
— управление с ограничениями
(3);
 
2
1 .
g x
x
 
Отме-
тим, что уравнение (4) справедливо в области 0 1, 0
.
x
t T
   
1,2,3 5,6,7,8,9,10,11,12,13,14,...18
Powered by FlippingBook