Моделирование и оптимизация технологического процесса ионно-лучевого травления
13
щие сложную связь с оптимальной траекторией. Но благодаря виду
уравнения, которое описывает процесс ИЛТ, эту проблему удалось
обойти.
Установленный в работе принцип максимума Понтрягина спра-
ведлив и для трехмерного случая, поскольку при выводе нигде не ис-
пользуется явный вид формулы, которая определяет угол
.
Даль-
нейшие исследования будут направлены на изучение вопросов
управления работой алгоритма с учетом [17–23], а также применение
декомпозиционных преобразований в соответствующих оптимизаци-
онных задачах по методам [24–27].
ЛИТЕРАТУРА
Dutton R. W., Hansen S. E. Process Modeling of Integrated Circuit Device
Technology.
Proceedings of the IEEE
, 2001, vol. 69, no 10, pp. 1305–1320.
Ryssel H., Habberg K., Hoffmann K., Prinke G., Dumcke R., Sachs A. Simula-
tion of Doping Processes.
IEEE Trans on electron devices
, 2000, vol. 27, no. 8,
pp. 1484–1492.
Gushin M. B., Ivanov R. D., Labutin E. S. etc. Model Profile Evolution Photo
Resistive Protective Mask During Ion Beam Etching.
Electronic Technician
.
Ser. 3. Microelectronics, 1979, no. 2, p. 90.
Docommuh I. D., Gantagrel M., Moulin M. Evolution of Well-Divined Surface
Contour Submitted to Ion Bombardment.
J. of Materials Sci. Left
, 1981, no. 10,
p. 52.
Muravey L. A., Petrov V. M. Optimal Control of Technological Processes in
Microelectronics.
Interpribor-90
, Moscow, 1990, pp. 51–53.
Muravey L. A., Petrov V. M. Simulation and Optimization Problems of Some
Technological Processes in Microelectronics.
SIAM Conference on Mathemat-
ics Industry
, San Francisco, USA, 2009, p. 26.
Muravey L. A., Petrov V. M. Coefficient Control for Some Nonlinear Hyper-
bolic Equation.
1062nd AMS MEETING, Syracuse University
. Syracuse, New
York, 2010, p. 34–35.
Muravey L. A., Petrov V. M., Romanenkov A. M. Modeling and Optimization
of Ion-Beam Etching Process.
Proceedings. III International conference on op-
timization methods and applications (OPTIMA-2012)
. Costa da Caparica, 2012.
Гурченков А.А., Елеонский В.М., Кулагин Н.Е.
О сопоставлении бифур-
каций в классической и квантовой механике. Случай интегрируемых си-
стем.
Mосква, Изд-во ВЦ РАН, 2009, 84 с.
Гурченков А.А., Есенков А.С., Цурков В.И. Управление движением рото-
ра с полостью, содержащей идеальную жидкость.
Изв. РАН. Теория и си-
стемы управления
, 2006, Ч. II, № 3, с. 82–89.
Гурченков А.А., Есенков А.С., Цурков В.И. Управление движением рото-
ра с полостью, содержащей идеальную жидкость.
Изв. РАН. Теория и си-
стемы управления
, 2006, Ч. I, № 1, с. 141–148.
Гурченков А.А. Момент сил внутреннего трения быстровращающегося
цилиндрического сосуда, заполненного вязкой жидкостью. Известия ву-
зов. Сер. Приборостроение, 2001, т. 44, № 2, с. 44.
Gurchenkov A.A. Stability of a Fluid-Filled Gyroscope.
Инженерно-
физический журнал
, 2002, т. 75, № 3, с. 28–32.
