Перспективы развития комбинированных турбомолекулярных вакуумных насосов
9
Результаты анализа теоретических и экспериментальных иссле-
дований МВН показали, что одним из основных факторов, ограничи-
вающих повышение откачных параметров насоса, является перетека-
ние через радиальный разор между ротором и статором насоса (для
схемы МВН Геде — отсекателем). Для уменьшения перетекания газа
через зазор проточной части, т.е. для уменьшения обратного потока,
зазор между статором и ротором выполняют порядка 1 · 10
−2
мм и
делают максимально широкой кромку между каналами.
В качестве форвакуумных ступеней можно использовать молеку-
лярно-вязкостную проточную часть [7−13] (рис. 4), обладающую
большей быстротой действия по сравнению с молекулярной проточ-
ной частью, а также имеющую зазор порядка 0,1…0,2 мм. Отличи-
тельной особенностью данной проточной части является то, что при
определенном наборе геометрических параметров она может работать
в вязкостном, переходном и молекулярном режимах течения газа. При
этом возможно получение форвакуумного давления не менее 10
3
Па,
а в определенных конструкциях — даже 10
5
Па.
Одним из основных параметров, определяющих откачную харак-
теристику проточной части, является профиль канала. В качестве
профиля выбираются прямоугольный, трапецеидальный, круглый и
Рис. 4.
Конструктивная схема одноступенчатого МВВН
