К.Е. Демихов, Н.К. Никулин, Е.В. Свичкарь
8
а
б в
Рис. 3.
Комбинированный ТМН с молекулярной ступенью Зигбана:
а
— комбинированный ТМН с молекулярной ступенью Зигбана (TwisTorr® —
Varian);
б
— двухступенчатая однопоточная ступень ТМН насоса;
в
— рабочий
диск насоса
