К.Е. Демихов, Н.К. Никулин, Е.В. Свичкарь
14
Работа выполнена в рамках гранта НШ-6131.2012.8 и по государ-
ственному заданию высшим учебным заведениям на 2013 и на плановый
период 2015 и 2015 гг. в части проведения научно-исследовательских работ
и отчетах о научной деятельности за 2012 г. (№ 7.803.2011).
ЛИТЕРАТУРА
[1]
Вакуумная техника: справочник
. Москва, Машиностроение, 2009.
[2]
Каталог фирмы Varian.
Inc. Vacuum Technologies
.
[3]
Giors S., Subba F., Zanino R. 'Navier — Stokes modeling of a Gaede pump
stage in the viscous and transitional flow regimes using slip-flow boundary con-
ditions'.
J. Vac. Sci. Technol
, A, vol. 23, N 2, 2005.
[4]
Giors S., Colombo E., Inzoli F., Subba F., Zanino R. Computational fluid dynamic
model of a tapered Holweck vacuum pump operating in the viscous and transition
regimes. I. Vacuum performance.
J. Vac. Sci. Technol
, A, vol. 24, 4, 2006.
[5]
Cozza I.F., Campagna L., Emelli E. A kinetic Approach in Modelling Compact
Siegbahn Molecular Drag Stages: Physical and Numerical Aspects.
64th
IUVSTA Workshop on Practical Applications and Methods of Gas Dynamics for
Vacuum Science and Technology
, 2011.
[6]
Dolcino L. A new Technology for high performance Turbomolecular-Drag
Pumps.
IUVSTA Workshop on Practical Applications and Methods of Gas Dy-
namics for Vacuum Science and Technology
, 2010.
[7]
Демихов К.Е., Никулин Н.К., Свичкарь Е.В. Расчет параметров течения га-
за в тонких каналах с подвижной стенкой.
Вестник МГТУ, сер. Машино-
строение
. Москва, Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2009, вып. 4.
[8]
Демихов К.Е, Никулин Н.К., Свичкарь Е.В. Теоретические характеристики
МВВН при течении газа со скольжением, «Будущее машиностроения Рос-
сии.
Сб. тр. всерос. конф. молодых ученых и специалистов/ Московский
Государственный Технический Университет МГТУ им. Н.Э. Баумана
.
Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011, 332 с.
[9]
Демихов К.Е, Никулин Н.К., Свичкарь Е.В. Математическая модель моле-
кулярно-вязкостного вакуумного насоса при течении со скольжением. Ва-
куумная техника, материалы и технология.
Мат. VI Международной науч-
но-технической конференции
. С.Б. Нестеров, ред. Москва, Новелла, 2011.
[10] Демихов К.Е., Никулин Н.К., Свичкарь Е.В., Антипов И.А. Измерение
температуры проточной части молекулярно-вязкостного вакуумного насо-
са.
Известия вузов. Машиностроение
, № 10, 2011.
[11]
Демихов К.Е., Никулин Н.К., Свичкарь Е.В. Исследование течения газа в канале
МВН в вязкостном режиме течения
. Известия вузов. Машиностроение
, 2012.
[12] Демихов К.Е., Никулин Н.К., Свичкарь Е.В. Течение газа в спиральном ка-
нале молекулярного вакуумного насоса.
Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана.
Сер. Машиностроение
, 2012
[13] Демихов К.Е., Никулин Н.К., Свичкарь Е.В. Вакуумная техника, материа-
лы и технология.
Мат. VIII Международной научно-технической конфе-
ренции
. Нестеров С.Б., ред. Москва, Новелла, 2013, с. 111–118.
Статья поступила в редакцию 31.05.2013
Ссылку на эту статью просим оформлять следующим образом:
Демихов К.Е., Никулин Н.К., Свичкарь Е.В. Перспективы развития комбини-
рованных турбомолекулярных вакуумных насосов.
Инженерный журнал: наука и
инновации
, 2013, вып. 5. URL:
