Перспективы развития комбинированных турбомолекулярных вакуумных насосов
3
рактеристику насосов. Насосы переносят газ со стороны всасывания
на сторону нагнетания, не сорбируя его во внутренней полости. Сле-
довательно, нет необходимости в их регенерации. Криосорбционные,
электрофизические ВН удерживают газ внутри себя, чем ограничи-
вают свой ресурс работы. В процессе регенерации в период работы
насоса возникает ряд проблем, делающих невозможным использова-
ние этих насосов для некоторых технологических процессов. Напри-
мер, когда происходит пресыщение рабочего элемента газом, обрат-
ный поток газа увеличивается.
Существенной проблемой для ВН является прорыв атмосферы.
Комбинированные ТМН и МВВН могут запускаться с атмосферы,
т.е. им не страшен прорыв атмосферы и не нужна форвакуумная си-
стема. В насосах, где используется форвакуумная система, нужно
учесть защитные средства от паров углеводородов, которые могут
попасть в систему при пуске и останове либо прорыве атмосферы.
Источником паров углеводородов обычно служат опоры враще-
ния роторов. Ранее в них в основном использовались подшипники
качения на жидкой смазке, что требовало дозированной подачи смаз-
ки и специальных уплотнений для защиты рабочей среды. Однако та-
кое решение не всегда спасает от диффундирования паров углеводо-
родов через лабиринтное уплотнение при остановленном насосе.
В последнее время в механические ВН устанавливают гибридные
подшипники качения с керамическими шариками на консистентной
смазке. С их помощью уменьшено количество паров углеводородов,
увеличен ресурс работы насоса, но при этом существенно увеличена
его стоимость. Помимо керамических подшипников, в опорах враще-
ния используют газовые и магнитные подшипники. В них также не
выделяются пары углеводородов, и практически не ограничен срок
работы насоса. Газовые и магнитные опоры позволят обеспечить
требуемую чистоту вакуума, делают насос менее чувствительным к
прорыву атмосферы. Некоторые фирмы-производители сочетают в
ВН опоры двух типов, например, магнитну опору со стороны всасы-
вания и керамический подшипник на нагнетании (фирма Intech).
ТМН, МВН, МВВН практически не затрачивают энергии на про-
цесс откачки, а вся мощность уходит на привод ВН, в частности на
трение в подшипниках. Для защиты электропривода механических
ВН от электрических и электромагнитных полей ставят дополни-
тельную систему защиты.
Значительная сложность для обеспечения работы ВН с вращаю-
щимся ротором — это высокоточная балансировка, которую не все-
гда удается провести на рабочих режимах вращения ротора, так как
эти насосы относятся к высокочастотным средствам откачки. К тому
же у них повышенный уровень шума.
