К.Е. Демихов, Н.К. Никулин, Е.В. Свичкарь
4
Широкое применение нашли ДВН, так как они отличаются про-
стотой конструкции, хорошим ресурсом работы. С помощью лову-
шек обеспечивают необходимую чистоту вакуума. Но эти меры при-
водят и к увеличению стоимости, усложнению эксплуатации, а также
к ограничению области их использования. Как показывает опыт ра-
боты с ДВН, величина предельного давления зависит от чистоты ра-
бочей жидкости и количества растворенных в ней примесей и газов;
также имеет большое значение перегрев масла. Защитные средства от
рабочих тел увеличивают стоимость системы и энергетические затра-
ты при эксплуатации.
В ряде технологических процессов одно из основных требова-
ний — минимальное время выхода ВС на рабочий режим либо мак-
симальное время работы ВС без останова на ремонтные работы. Эти
требования выдерживают механические ВН. При использовании
магнитных опор ресурс работы практически не ограничен. Ресурс
криосорбционных и электрофизических насосов ограничен регенера-
цией насосов. Время выхода на режим механических насосов — ме-
нее 15 мин. В то же время криосорбционные ВН такой же быстроты
действия выходят на режим дольше: насосы фирм SHI Cryogenics,
Austin Scientific — не менее 150 мин, ООО НТК «Криогенная техни-
ка» — 75 мин. Не меньше времени для выхода на рабочий режим
требуется ДВН.
К недостаткам комбинированных ТМН можно отнести сложность
конструкции и наличие небольшого зазора в форвакуумной проточ-
ной части.
Несомненными же достоинствами комбинированных ВН, пере-
крывающими вышеуказанные недостатки, являются лучшие откачные
характеристики насоса и увеличение диапазона работы благодаря соче-
танию проточных частей с различными откачными характеристи-
ками. В последнее время используют комбинированные ТМН с инте-
грированной молекулярной, вихревой или молекулярно-вязкостной
ступенями.
Рассмотренные выше достоинства и недостатки высоковакуум-
ных насосов позволяют утверждать, что с помощью комбинирован-
ных ТМН можно добиться требуемой чистоты вакуума в широком
диапазоне быстроты действия и давления газа, минимизировать габа-
риты и стоимость установки, ее энергетические затраты.
Комбинированные ТМН.
Перспективы развития ТМН можно
определить следующими направлениями:
• создание и разработка магнитных опор;
• создание и разработка комбинированного ТМН с нагнетанием
газа непосредственно в атмосферу. Для этих целей разрабатываются
