Перспективы развития комбинированных турбомолекулярных вакуумных насосов - page 7

Перспективы развития комбинированных турбомолекулярных вакуумных насосов
7
Рис. 1,
б
.
Комбинированные ТМН с молекулярной ступенью Геде: Edwards
а б
Рис. 2.
Комбинированные ТМН:
а
— с молекулярной ступенью Хольвека;
б
— с конической молекулярной ступе-
нью Холланда—Мартена
1,2,3,4,5,6 8,9,10,11,12,13,14,15
Powered by FlippingBook