Перспективы развития комбинированных турбомолекулярных вакуумных насосов
7
Рис. 1,
б
.
Комбинированные ТМН с молекулярной ступенью Геде: Edwards
а б
Рис. 2.
Комбинированные ТМН:
а
— с молекулярной ступенью Хольвека;
б
— с конической молекулярной ступе-
нью Холланда—Мартена