Перспективы развития комбинированных турбомолекулярных вакуумных насосов
13
точной части можно получить максимальное отношение давления
(рис. 7).
Absolute Pressure (Pa)
99769
99820
99872
99923
99975 1,0003e+005
а
Absolute Pressure (Pa)
99749
99809
99868
99927
99986 1,0005e+005
б
Рис. 7.
Давление газа в канале (
а
) и зазоре (
б
) для скорости вращения
ротора
= 15 000 об/мин
Качественный характер течения позволяет уточнить граничные
условия и влияние отдельных геометрических и скоростных парамет-
ров проточной части насоса на его откачную характеристику и, соот-
ветственно, повысить точность расчета.
