1
УДК 621.52
Перспективы развития комбинированных
турбомолекулярных вакуумных насосов
© К.Е. Демихов, Н.К. Никулин, Е.В. Свичкарь
МГТУ им. Н.Э. Баумана, Москва, 105005, Россия
Для обеспечения безмасляной откачки вакуумных систем, определяемой многооб-
разием технологических процессов, проводимых в условиях вакуума, в которых иг-
рает ведущую роль выбор средств системы откачки, в данной работе проведен
анализ основных принципов выбора высоковакуумной системы откачки в зависи-
мости от условий эксплуатации. Приведены основные конструкции современных
комбинированных (гибридных) турбомолекулярных вакуумных насосов. В исследуе-
мых комбинированных турбомолекулярных вакуумных насосах в качестве форва-
куумных ступеней в основном устанавливаются молекулярные проточные части.
Проведен анализ перспектив развития исследуемых насосов. В качестве альтер-
нативы использования молекулярных ступеней рассматриваются проточные ча-
сти молекулярно-вязкостного вакуумного насоса, которые обладают рядом пре-
имуществ по сравнению с молекулярными проточными частями.
Проведено исследование течения газа в каналах молекулярной ступени комбиниро-
ванного турбомолекулярного вакуумного насоса в вязкостном режиме течения с
помощью программного комплекса гидрогазодинамики STAR-CCM+. Расчетные
данные приведены для всей проточной части молекулярного вакуумного насоса с
учетом влияния зазора между статором и ротором насоса.
Ключевые слова:
молекулярный вакуумный насос, молекулярно-вязкостный ваку-
умный насос, вакуум, вязкостный режим течения, течение газа, винтовой канал,
геометрические параметры.
Основные параметры сравнения вакуумных насосов
. В насто-
ящее время вакуум применяется в большинстве областей промыш-
ленности, например, в химической, фармацевтической, пищевой, во
многих областях машиностроения и др. Соответственно встает во-
прос о компоновке вакуумной системы (ВС) для технологического
процесса, чтобы она обеспечивала все требования процесса и при
этом имела минимальные энергетические и экономические затраты и,
по возможности, была простой в обслуживании. Основная сложность
состоит в правильном выборе средств системы откачки.
В качестве основных параметров сравнения вакуумных насосов
(ВН) можно выделить:
1) откачные параметры (быстрота действия, предельно остаточ-
ное давление, диапазон рабочих давлений) вакуумного насоса;
