К.Е. Демихов, Н.К. Никулин, Е.В. Свичкарь
2
2) селективность откачки;
3) необходимость регенерации;
4) безмасляность вакуумной системы;
5) необходимость форвакуумного или дублирующего оборудова-
ния;
6) время выхода на рабочий режим;
7) энергопотребление;
8) технологичность изготовления, сборки;
9) стоимость оборудования и его обслуживания.
Важнейшими параметрами ВС, которые приходится определять
при практическом использовании вакуумной техники, являются дав-
ление и скорость откачки газа из вакуумной камеры, а также пре-
дельное остаточное давление насоса. Но ограничиться только этими
параметрами невозможно, следует учесть также возможность загряз-
нения рабочей среды парами углеводородов или другими вещества-
ми, энергетические затраты, селективность откачки, необходимость
регенерации и предварительной откачки, т. е. наличие форвакуумной
системы, и многое другое.
Анализ рынка выявляет основные ВН, которые используются для
получения высокого вакуума в откачиваемой системе:
• турбомолекулярные вакуумные насосы (ТМН), в том числе
комбинированные турбомолекулярные вакуумные насосы;
• криосорбционные вакуумные насосы;
• электрофизические вакуумные насосы;
• диффузионные вакуумные насосы (ДВН);
• молекулярные вакуумные насосы (МВН);
• молекулярно-вязкостные вакуумные насосы (МВВН).
С помощью практически любого ВН можно обеспечить «безмас-
ляность» системы. Соответственно каждая ВС приобретает свои пре-
имущества и недостатки, а уже из их сопоставления производят ком-
поновку системы.
Во многих ВС для обеспечения чистого вакуума применяют
криосорбционные насосы, так как помимо безмасляности, они обла-
дают широким диапазоном рабочих давлений и быстрот действия.
Аналогично использование электрофизических ВН, которые схожи
по своим показателям с криосорбционными, за исключением мень-
шей скорости действия. Применение криосорбционных и электрофи-
зических ВН ограничено селективностью откачки различных газов.
Плохо сорбируемые газы необходимо удалять с помощью дополни-
тельных ВН. Это усложняет конструкцию и стоимость ВС, а также
условия ее эксплуатации.
В ТМН, МВН и МВВН нет селективности откачки по сравнению
с другими насосами, но при этом состав газа влияет на откачную ха-
