Перспективы развития комбинированных турбомолекулярных вакуумных насосов - page 6

К.Е. Демихов, Н.К. Никулин, Е.В. Свичкарь
6
Рис. 1, а. Комбинированные ТМН с молекулярной ступенью Геде:
Varian (Macrotorr®);