М. Али, Ю.Ю. Качурин, А.П. Кирьянов
10
также изучать в режиме
in situ
явление линейного дихроизма и свя-
занных с ним процессов релаксации измерением мнимой части
1
p
χ
комплексного показателя преломления
*
p
n
для компоненты потока
света с линейной
р
-поляризацией.
ЛИТЕРАТУРА
[1] Langereis E., Heil S.B.S., Knoops H.C.M., Keuning W., van de Sandem
M.C.M., Kessels W.M.M. In situ spectroscopic ellipsometry as a versatile tool
for studying atomic layer deposition.
J. Phys. D: Appl. Phys.
, 2009, vol. 42,
073001.
[2] Конотопов М.В., Тебекин А.В. Концепция стратегии развития производ-
ственных технологий.
Инновации и инвестиции
, 2007, № 1 (9), с. 2–15.
[3] Аззам Р., Башара Н.
Эллипсометрия и поляризованный свет
. Москва, Мир,
1981, 584 с.
[4] Кирьянов А.П.
Голоэллипсометрия in situ: основы и применения
. Москва,
МГУДТ, 2003, 220 с.
[5] Харкевич А.А.
Спектры и анализ
. Москва, ГИТЛ, 1975.
Статья поступила в редакцию 24.06.2013
Ссылку на эту статью просим оформлять следующим образом:
Али М., Качурин Ю.Ю., Кирьянов А.П. Лазерная интерференционная холоэл-
липсометрия
in situ
с нормальным и брюстеровским отражениями света.
Инженер-
ный журнал: наука и инновации
, 2013, вып. 7.
URL:
Али Мoхаммед
— аспирант кафедры «Oптикo-электрoнные прибoры научных ис-
следoваний» МГТУ им. Н.Э. Баумана. Автор шести публикаций. Области научных
интересов: прикладная оптика, оптико-электронные приборы.
Качурин Юрий Юрьевич
— старший преподаватель кафедры «Oптикo-электрoн-
ные прибoры научных исследoваний» МГТУ им. Н.Э. Баумана. Автор шести пуб-
ликаций в области оптотехники. e-mail:
Кирьянoв Анатoлий Павлoвич
— д-р физ.-мат. наук, ведущий научный сoтруд-
ник Научнo-технoлoгическoгo центра уникальнoгo прибoрoстрoения Рoссийскoй
академии наук, прoфессoр кафедры «Oптикo-электрoнные прибoры научных ис-
следoваний» МГТУ им. Н.Э. Баумана. Автор 230 публикаций. Области научных
интересов: физика и техника низких температур, сверхпроводимость и эффект
Джозефсона, оптика, оптотехника, эллипсометрия, нанотехнология, квантовая
лингвистика, экономика и управления инженерной деятельности.
