Лазерная интерференционная холоэллипсометрия in situ с нормальным…
1
УДК 535.51
Лазерная интерференционная холоэллипсометрия
in situ
с нормальным и брюстеровским отражениями света
© М. Али, Ю.Ю. Качурин, А.П. Кирьянов
МГТУ им. Н.Э. Баумана, Москва, 105005, Россия
Рассмотрена холоэллипсометрия in situ с использованием лазерного интерферен-
ционного холоэллипсометра с бинарной модуляцией поляризации и нормальным и
брюстеровским отражениями поляризованного света от одноосного двумерного
кристалла, размещенного в плече интерферометра Майкельсона, который слу-
жит технической основой устройства.
Ключевые слова:
эллипсометрия, интерферометр Майкельсона, бинарная модуля-
ция поляризации, одноосный двумерный кристалл.
Эллипсометрия — перспективный метод реализации мониторин-
га двумерных кристаллов [1] при их синтезе и обработке в интересах
создания материалов с необходимыми для практических целей свой-
ствами. Благодаря контролю
in situ
квантового копирования циклов
осаждения слоев атомов удается обеспечить высокую точность и эф-
фективность производства [2]. Физической основой мониторинга яв-
ляется исследование изменения состояния поляризации отраженного
от кристалла светового потока при каждом цикле осаждения слоев.
Изменение состояния поляризации описывается относительным
комплексным амплитудным коэффициентом отражения ,
∗
ρ
равным
отношению комплексных амплитудных коэффициентов отражения
p
r
∗
и
s
r
∗
для составляющих потока излучения с линейными
р
- и
s
-по-
ляризациями [3]:
(
)
{
}
{ }
exp
tg exp ,
p p
p s
s
s
r r
i
i
r r
∗
∗
∗
ρ = =
δ − δ = Ψ Δ
где
{ }
exp
;
p p
p
r r
i
∗
=
δ
{ }
exp ;
s
s
s
r r
i
∗
=
δ
,
p
r
s
r
— модули;
,
p
δ
s
δ
—
аргументы коэффициентов
p
r
∗
и
s
r
∗
[3].
Соотношения
tg
;
p
s
p s
r
r
Ψ =
Δ = δ − δ
(1)
