Лазерная интерференционная холоэллипсометрия in situ с нормальным…
9
угол падения
Бр
Θ
задан законом Брюстера:
Бр 1
tg
,
n
Θ =
(25)
где
1
n
— действительная часть комплексного показателя преломле-
ния
*
1
n
среды образца
S
оптически одноосного кристалла,
*
1 1 1
n n i
= + χ
.
(26)
Здесь
1
χ
—мнимая часть комплексного показателя преломления
*
1
.
n
Следует учитывать, что
*
1
n
зависит от ориентации оптической
оси
ζ
двумерного кристалла относительно направления линейной
р
-поляризации падающего потока света на образец
S
, определяемой
углом
.
α
При азимуте
α
= 0 или
α
= 90
°
значение
*
1
n
равно ком-
плексному показателю преломления
*
е
n
или
*
о
n
соответственно не-
обыкновенной или обыкновенной световой волны, распространяю-
щейся в среде оптически одноосного кристалла.
Используя формулы Френеля (23) для амплитудных комплексных
коэффициентов отражения с учетом азимута
0,
α =
получаем ампли-
тудные коэффициенты отражения
*
.
p e
r
и
*
.
s o
r
для необыкновенной и
обыкновенной световых волн в оптически одноосной кристалличе-
ской среде слоя [3, 4]:
2
*
.
1
3
2
*
.
2
,
,
1 ;
2
1 ;
1
2
.
e
p e
p
e
o
s o
o
e o
e o
n
r i
n
n r
n
n d
−
= χ
+ =
−
π
δΔ = Δ
λ
(27)
Выражения (27) получены при учете известных из опыта оценок
для физических характеристик среды в виде неравенств вида
1( , )
1( , )
;
e o
e o
n
χ <<
1 1 1
1( , )
.
e
o
e o
n n n n
Δ = − <<
Таким образом, имеется непосредственная возможность измерять
в реальном времени (
in situ
) не только показатели преломления
e
n
и
o
n
необыкновенной и обыкновенной световых волн в оптически од-
ноосном кристаллическом образовании, но и находить на основе по-
лучаемого двулучепреломления
n
Δ
толщину
d
такого кристалла, а
