М. Али, Ю.Ю. Качурин, А.П. Кирьянов
2
являются основными эллипсометрическими параметрами образца [3].
Методы двухпараметричности эллипсометрии (1) применяют только
для контроля прозрачных изотропных образцов, определяя всего два
его параметра: как правило, толщину и показатель преломления.
Для определения бóльшего количества параметров служат мето-
ды холоэллипсометрии. С их помощью измеряют в режиме
in situ
ос-
новные эллипсометрические параметры при различных углах паде-
ния одновременно, что позволяет контролировать более сложные
объекты, например двумерные кристаллы [4].
Функциональная схема лазерного интерференционного холоэл-
липсометра
in situ
приведена на рис. 1. Оптическая схема представ-
ленного прибора основана на интерферометре Майкельсона, в кото-
ром используется нормальное и брюстеровское падение света на
образец
S
, помещенный в так называемое рабочее плечо интерфе-
рометра.
Рис. 1.
Схема лазерного интерференционного холоэллипсометра
in situ
Источник излучения — лазер
L
создает поток линейно поляризо-
ванного света, который через светоделители BS1 и BS2 попадает в
интерферометрическую часть холоэллипсометра, состоящую из све-
тоделителя BS3, зеркал M2, M3, M4
и образца
S
. Поток света, отра-
женный светоделителем BS3, нормально падает на зеркало M2 и от-
ражается им, формируя опорный поток света. Излучение, прошедшее
через светоделитель BS3, попадает в рабочую ветвь интерферометра,
испытывая нормальное отражение от образца
S
. Кроме того, за счет
