М. Али, Ю.Ю. Качурин, А.П. Кирьянов
8
Фурье-образы (20) и (21), получаемые в результате математиче-
ской обработки экспериментальных данных при наличии фазовой
модуляции (8), позволяют найти как модули
( )
,
,
r
ζ η
так и значения
tg
x
по аргументу
( )
,
x
ζ η
= ϕ
комплексных амплитудных коэффициен-
тов отражения
( )
*
,
r
ζ η
при нормальном отражении потока света образ-
цом одноосного двумерного кристалла:
( )
(
)
(
)
(
)
(
)
( )
(
)
(
)
1 2
2
2
пр
пр
0
0
( , )
( , )
,
пр
0
( , )
,
пр
0
( , )
S
;
tg
.
F
F
p s
p s
F
p s
F
p s
r
i
C i
C i
S i
ζ η
ζ η
⎡
⎤
⎡
⎤
⎡
⎤
= Δ Δϕ + Δ Δϕ
⎢
⎥
⎣
⎦
⎣
⎦
⎣
⎦
⎡
⎤
Δ Δϕ
⎣
⎦
ϕ =
⎡
⎤
Δ Δϕ
⎣
⎦
(22)
При параллельном использовании c нормальным отражением
брюстеровского отражения составляющих лазерного излучения мож-
но вдвое расширить набор экспериментально определяемых
in situ
холоэллипсометрических параметров оптически одноосных двумер-
ных кристаллов.
Сонаправленность оптической оси
ζ
двумерного кристалла и ли-
нейной
р
-поляризации потока света на светоделителе BS3 позволяет
практически аналогично воспользоваться предшествующими резуль-
татами и для наклонного падения света на образец, в частности под
углом Брюстера
Бр
.
Θ
При этом изменения
р-
и
s-
составляющих элек-
трического вектора, падающего на образец
S
, коррелирующими с ли-
нейными
ζ
- и
η
-поляризациями необыкновенной и обыкновенной
световой волны в среде оптически одноосного двумерного кристалла,
описываются формулами Френеля для комплексных амплитудных
коэффициентов отражения
*
( , )Бр
p s
r
в виде [3, 4]
Бр 1
*
.Бр
Бр 1
Бр 1
*
.Бр
Бр 1
tg(
)
;
tg(
)
sin(
)
,
sin(
)
p
s
r
r
Θ −Θ
=
Θ −Θ
Θ −Θ
= −
Θ −Θ
(23)
где
Бр
Θ
и
1
Θ
— углы падения и преломления на границе раздела ва-
куумной среды и среды образца
S
, причем эти углы связаны соотно-
шением закона преломления Снеллиуса:
*
Бр 1
1
sin
sin ;
n
Θ = Θ
(24)
