М. Али, Ю.Ю. Качурин, А.П. Кирьянов
4
стемы и поляризационных свойствах всех отдельных оптических
элементов на пути ее распространения.
Зададим систему координат, направив ось
z
по направлению па-
дающего луча, ось
x
— в плоскости падения луча на светоделитель-
ную грань светоделителя BS, ось
y
— перпендикулярно плоскости
падения так, что оси координат образуют правую тройку векторов.
Пусть
ip
E
и
is
E
— составляющие вектора
i
E
в плоскости паде-
ния (
p
-) на светоделительную грань светоделителя BS3 и перпенди-
кулярно ей (
s
-). Тогда вектор Джонса потока света на входе интерфе-
рометрической части имеет вид
.
ip
i
is
E
E
E
⎡ ⎤
=
⎢ ⎥
⎣ ⎦
Светоделители BS1 и BS2, зеркало M1 расположены до интерфе-
рометрической части холоэллипсометра и их поляризационные свой-
ства можно не учитывать.
Поляризационное действие светоделителя BS3 связано с анизо-
тропией амплитудных коэффициентов отражения
*
,
p
r
*
s
r
и пропуска-
ния
*
,
p
t
*
s
t
светоделительного покрытия для компонент потока света с
линейными
p
- и
s
-поляризациями. В общем случае коэффициенты
отражения и пропускания имеют комплексный вид:
{ }
*
exp
;
p p
rp
r r
i
=
ϕ
{ }
*
exp
;
s
s
rs
r r
i
=
ϕ
{ }
*
exp
;
p p
tp
t
t
i
=
ϕ
{ }
*
exp
.
s
s
ts
t
t
i
=
ϕ
Образец представляет собой одноосный двумерный кристалл,
оптическая ось
ζ
которого параллельна границе раздела (рис. 2). При
входе в среду такого кристалла нормально падающая световая волна
разделяется на две линейно поляризованные волны с ортогональны-
ми поляризациями — обыкновенную и необыкновенную. Они рас-
пространяются в одном и том же направлении, но с различными ско-
ростями, зависящими от показателей
преломления
o
n
и
.
e
n
Поляризационные свойства образца
будем описывать комплексными ампли-
тудными коэффициентами
*
r
ζ
и
*
r
η
от-
ражения, связанными с компонентами
потока света, которые поляризованы
соответственно вдоль и поперек опти-
ческой оси
ζ
кристалла:
Рис. 2.
Одноосный контро-
лируемый образец:
k
— волновой вектор падаю-
щей волны
